中古 CYMER ELS 6400 #9271083 を販売中

CYMER ELS 6400は、精密フォトリソグラフィに使用されるパルス染料レーザーです。これは、ダイオードポンプによるソリッドステートレーザー技術を使用して、200フェムト秒でパルスを生成し、高いスループットと一貫した結果を提供します。パルスのエネルギーは、最大4kHzの高い反復速度を使用することでさらに増加します。これにより、希望する印刷分解能を達成しつつ、レーザービームによる地下加熱による影響を最小限に抑えることができます。CYMER ELS-6400は革新的なデュアルビーム構成を備えており、デバイス基板の2つの別々の場所で同時にリソグラフィを行うことができます。これは、高速イメージングプロセスが並行して発生し、より高いスループットを実現できることを意味します。また、基板の特定の表面レイアウトに基づいてレーザービームを微調整し、精度を高めることができます。さらに、この装置は高精度のスポットサイズ制御を提供し、優れた印刷プロファイルと非常に小さな機能を印刷する機能を提供します。このレーザーは、特許取得済みの多層ディザードエネルギーデリバリーシステムを使用しており、高効率で、シングルストリームシステムと比較してダイナミックレンジと高速性を向上させます。これにより、レーザーソースの変動を低減し、リソグラフィ結果を改善し、印刷歩留まりを向上させることができます。さらに、このユニットはレーザー源の寿命を延ばすのに役立ちます。ELS 6400には、機械操作を制御するためのソフトウェアツールのフルスイートが付属しています。これは、ツールが適切に設定されていること、およびリソグラフィー処理が望ましい結果をもたらすことを保証するのに役立ちます。このアセットは、最高の画像解像度と結果を一貫して得るための自動焦点調整モデルを備えています。また、アクティブレーザーの安全対策を重視するなど、幅広い安全機能が搭載されています。この装置は、オペレータの保護アイウェアやインターロックなど、レーザーのオペレータへの露出を制限するさまざまな方法を採用しています。これにより、レーザーがシステムのユーザーに潜在的なリスクや害を最小限に抑える方法で動作することが保証されます。全体として、ELS-6400は高精度フォトリソグラフィのための強力で信頼性が高く安全なレーザーです。優れた性能と高いスループットを提供し、オペレータの正確性と安全性を確保します。