中古 CYMER ELS 6300 #154882 を販売中

CYMER ELS 6300は、半導体デバイス製造、フラットパネルディスプレイ製造、高度なリソグラフィなどの高度なウェーハ処理アプリケーションで使用される高性能エキシマレーザーです。このレーザーは大量の大面積の処理の使用のために設計され、CYMERが提供するELSシリーズの最も強力です。6300は、パルスあたり300 mJのエネルギーレベルのAr-Fレーザーガス混合物を使用して、光学的にポンピングされたタイミングパルスレーザーで構成されています。このビームは、球状と円筒状のレンズとデフレクターを組み合わせたオープンコンビネーション光学機器を介して製造され、焦点歪みのないスムーズな遷移が可能です。最大20 Watts/cm2の出力電力密度により、クリーンリソグラフィーパターンと高速生産ラインが得られます。また、低パルスエネルギー設定での迅速なアブレーションが可能で、エッチングおよび成膜用途において高いプロセススループットを実現します。6300の特許取得済みの高度なパルスタイミング制御技術、熱制御システムは、特別なアルゴリズムを介してより大きなピーク電力制御を可能にし、圧力、温度、レーザーユニットの安定性などの重要な環境要因を考慮に入れます。このレーザーはまた+/-0。5mJ内の優秀なビーム形の正確さそして均等性を提供する作り付けのMEMSベースのビーム安定性機械を特色にします。さらに、簡単で直感的なメンテナンスにより、迅速な運用とダウンタイムの削減を実現します。ユーザーは、内蔵のEthernet接続を使用してリモートで設定を調整および更新できます。ELS 6300はCE認証およびISO認証を取得しており、高度なウェーハ処理アプリケーションに信頼性と信頼性の高い選択肢となっています。その高度な機能と信頼性の高いパフォーマンスの広い範囲で、それは現在市場で入手可能な最高のレーザーシステムの一つです。