中古 CYMER ELS 5410 #9271994 を販売中

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CYMER ELS 5410
販売された
製造業者
CYMER
モデル
ELS 5410
ID: 9271994
Laser.
CYMER ELS 5410は、光源技術とソリューションのグローバルリーダーであるCYMER、 Inc。が開発したレーザー装置です。このシステムは、レーザーキャビティ、電源/光源、コントローラ、およびソフトウェアを統合して、優れた性能特性を備えた高出力、低ノイズレーザービームを生成します。レーザーキャビティ設計により、簡単なアライメントと調整が可能です。CYMER ELS-5410のレーザー共振器は、統合されたモノリシックレーザーダイオードとレーザーキャビティを含む統合された光学部品で構成されています。これは、従来のダイオード、コリメータ、ディスクリート光学設計とは対照的に設定されています。このレーザーユニットは、信頼性と性能、アクティブおよびパッシブ要素の使用、波長安定化、および高効率の冷却機の使用がこの目標に貢献するように設計されています。レーザーコントローラには、レーザー操作とプロセス制御のためのフルスイートの機能が組み込まれています。コントローラにはグラフィカルユーザーインターフェイスがあり、特定のアプリケーション分野で最適なパフォーマンスを得るためのレーザー出力とプロセスパラメータの定義を可能にします。レーザーの波長は固定され、事前に決定されます。レーザーは1450 nmに工場設定され、パルス持続時間2〜2000 nsの55ワットまでの出力に調整することができます。レーザーは、さまざまな動作条件にわたって定格出力で連続的に動作し、高い電力密度が要求されるアプリケーションに適しています。安全な操作を確保するために、さまざまな安全機能がツールに組み込まれています。これらには、最適なパワーレベルとレーザー寿命のメンテナンスのためのレーザーインターロック、アクティブ冷却システム、および電源/光源モニタリングが含まれます。ファンフィルターは、ほこりやその他の汚染物質から保護するためにも提供されています。ELS 5410は、広範囲のアプリケーションに最適な高出力、低ノイズ、信頼性、効率的なレーザー資産です。幅広い動作条件にわたって安定性を提供し、一貫したプロセス品質とパフォーマンスを保証します。レーザーは低い維持および既存の製造業システムかプロセスに統合すること容易です。その設計は、優れた性能と信頼性の高い動作のための高度な光学技術を採用しています。
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