中古 CYMER ELS 5410 #293650404 を販売中

製造業者
CYMER
モデル
ELS 5410
ID: 293650404
Laser.
CYMER ELS 5410は、深紫外線(DUV)リソグラフィ用途で一般的に使用される半導体ダイオードレーザーです。レーザーは、パルス幅が10ns、パルスあたりの最大パルスエネルギーが40mJの248nm波長でパルス放射を提供することができます。このレーザーは、高い排出効率と長いライフサイクルで信頼性の高い設計を特徴としています。レーザーは信頼できる操作を保障するために量子よく活動的な材料を利用し、高い発電レベルで確実に作動するように設計されています。CYMER ELS-5410は、高いビーム分散性と優れた光学アライメント安定性を備えているため、リソグラフィ用途に最適です。1kHz〜50kHzの広い出力電力とパルス反復周波数を備えたELS 5410は、幅広い用途に対応しています。さらに、レーザーはフィードバック制御用のパルスイオンチャンバーを内蔵し、温度管理用の安定性の高い温度コントローラを備えています。ELS-5410は20°Cから40°Cまでの温度で動作可能であり、レーザーのキャビティは熱衝撃の影響を最小限に抑えるように設計されています。パルスオンデマンド動作により、レーザーを正確にチューニングして一貫した出力を提供できます。CYMER ELS 5410は、リソグラフィ用途に適した信頼性の高い堅牢なレーザーです。レーザーの長いライフサイクルと出力安定性により、IC製造やPCB試験などの幅広い産業用途に適しています。さらに、CYMER ELS-5410は最新の安全基準および環境基準に準拠しているため、クリーンルーム環境での使用に適しています。
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