中古 CYMER ELS 5405 #9251523 を販売中

CYMER ELS 5405
製造業者
CYMER
モデル
ELS 5405
ID: 9251523
ヴィンテージ: 1997
System 1997 vintage.
CYMER ELS 5405は精密レーザーのアブレーションの適用の使用のために設計されている第5世代のエキシマレーザーです。これは、200ワット、5 kHz、 405 nmキセノンフッ化物エキシマレーザー:これまでに製造された最も強力で信頼性の高いエキシマレーザー源の1つを利用する高度なレーザー機器です。このレーザーは前任者と比較して優秀な強度制御を提供し、ユーザーが高精度で、反復可能なアブレーションの深さを達成することを可能にします。また、高繰り返し可能な低エネルギーパルスを生成し、アブレーションプロセスの精度をさらに高めるユニークなレーザダイオードモジュールを備えています。レーザーは真空チャンバーに囲まれており、光学的安定性と効率が向上し、定期的なメンテナンスが必要です。各レーザーパルスのドウェル時間とパワーを正確に制御するユニークなコンピュータ制御シャッターシステムを備えています。これにより、同じ基板全体で非常に小さなバリエーションで正確なアブレーション深度が得られます。また、エキシマー納入ビームのスペクトル純度とエネルギー均一性を管理し、一貫した切削性能を実現します。CYMER ELS5405は、顕微鏡目的、レーザー大聖堂、ポンプ式フォトマスク、反射光学など、ほとんどのタイプの光学システムで使用するように設計されています。そのパフォーマンスが大幅に向上したことで、非常に高速で複雑性の低いレーザースキャニングアプリケーションも可能になります。これには、ナノ秒で128 x 128の解像度までスキャンすることが含まれます。さらに、機械は容易なセットアップおよび操作を提供します。標準的な制御インターフェイスにより、ユーザーは迅速かつ簡単にレーザーパラメータを設定し、切断を開始することができます。このツールはまた、追加のリモートアクセスを提供し、ユーザーに資産にアクセスして外部制御システムで制御する機能を提供します。ELS-5405には、レーザーインターロック、シャッターモニター、ビームモニターなどの安全機能も含まれています。これらの機能は、ユーザーが安全かつ事故のリスクを最小限に抑えてモデルを使用できるようにします。全体として、ELS 5405レーザーは、エキシマレーザーのアブレーションの非常に高度で信頼性の高いソースです。幅広い機能、ハイエンド性能、優れた安全対策により、精密レーザーアブレーション用途に最適です。
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