中古 CYMER ELS 5400 #9188511 を販売中

CYMER ELS 5400は、幅広い産業および研究用途向けに設計された最先端のエキシマレーザー装置です。優れたレーザー光源技術と精密な制御システムを組み合わせ、最も精密なアプリケーションに最適な照明を実現します。このレーザーは、高出力、堅牢な設計、幅広い波長で知られており、薄膜成膜、フォトリソグラフィー、マイクロマシニングなどの製造プロセスに最適なツールです。平均出力400ワットで動作可能で、公称出力波長は248〜308ナノメートルです。CYMER ELS-5400は、高精度のビームスキャンと位置決めとともに、精密で高速なスキャン機能を提供する3軸電動スキャナを内蔵しています。これにより、精密な画像処理が可能になり、調整可能なコリメート光学系によって、出力ビームスポットの形状、サイズ、位置の調整が容易になります。特許取得済みの高パルスモードは、パルス間ジッタを低減し、アラインメントを実行する際に高精度を提供します。これにより、さまざまなリソグラフィ用途において正確なビーム位置決めとアライメントが保証されます。レーザーシステムには、ユーザーを保護するための高度な安全機能も含まれています。これには、レーザーの動作を監視し、予期しない異常が発生した場合にそれをシャットダウンする独自のレーザー監視ユニットが含まれています。それにまたレーザーの偶然の活発化を防ぐレーザーのビーム連結機械があり、ビームが意図されたターゲットを正しく向けられていることを保障します。さらに、ELS 5400は優れたカスタマーサポートとメンテナンスを提供します。オンボードの診断および診断ソフトウェアツールにより、トラブルシューティングとメンテナンスの介入が容易になり、ダウンタイムが最小限に抑えられます。オプションのフィラメント交換キットには、必要なすべての部品と部品が含まれているため、オペレータは摩耗または欠陥部品をすばやく交換でき、メンテナンスに必要な時間を短縮できます。ELS-5400は、幅広い産業および研究用途において、最高の精度と性能を実現する強力で信頼性の高い高性能レーザーツールを提供します。優れたレーザーソース技術と精密な制御システムを組み合わせ、最も要求の厳しいアプリケーションに最適なツールです。