中古 CYMER ELS 5400 #9145746 を販売中

CYMER ELS 5400は、カリフォルニアに拠点を置くレーザーメーカー、Gooch&Housegoのクラス1エキシマレーザー装置です。このレーザーは、多くの場合、パッケージやマーキングなどの他のさまざまなアプリケーションに加えて、深い紫外線フォトレジスト処理に使用されます。超高輝度248 nm出力を備え、高スループット処理のための高い反復速度を提供します。CYMER ELS-5400は、セルフモニタリングガスデリバリーシステムや内蔵安全インターロックなどの先進技術を活用しています。ELS 5400の出力は、最大300Hzでパルスする多周波エキシマレーザーによって生成され、高効率の高スループットユニットを実現します。レーザーは5 μ sから10 μ sまで広い範囲の脈拍長を利用でき、ユーザーが彼らの必要性のための最もよい処理条件を選ぶことを可能にします。レーザーはまた異なった性能レベルがあるためにカスタマイズすることができユーザーは適用のための機械を最適化することを可能にします。また、特許取得済みのKTA方向ガスデリバリーツールを搭載しており、信頼性の高い正確なガスフローを確保し、ガスレートをパルス周波数に合わせて動作します。ELS-5400のユーザーフレンドリーで人間工学に基づいたデザインは、多くの環境に最適です。それはセットアップの容易さのために設計され、非常に最小限の努力と安全に作動することができます。レーザーワークステーションには、クローズドループおよびインターロック制御システム、ビームパス監視アセットなど、いくつかの安全機能が装備されており、常に安全で効果的な動作を保証します。最後に、CYMER ELS 5400は、中圧ガス配送モデルや多周波レーザーサービス機器、特定のユーザー要件を満たすためのカスタム適応など、さまざまなオプションでアップグレードすることができます。この柔軟性により、このシステムは幅広い産業および研究アプリケーションに最適です。