中古 CYMER ELS 5400 #293794151 を販売中

CYMER ELS 5400は、高度なレーザマイクロ処理アプリケーション用に特別に設計されたエキシマレーザーです。このレーザーシステムは、半導体デバイスの製造、研究開発、およびその他の同様の産業用途に利用可能な、最も先進的なリアルタイム3Dプロファイリングレーザーの1つです。5400は、248nmで1。5 kWという非常に高い平均出力と優れた安定性と優れたビームポインティング精度を備えており、小さな機能の精密なエッチングとドリル加工を可能にします。このレーザーは、広範囲の動作波長とパルスエネルギーを提供することもできます。CYMER ELS-5400は、スケーラビリティと信頼性に重点を置いて設計された信頼性が高く、柔軟で多機能なツールです。そのアーキテクチャは、統合、保守、保守を容易にし、さまざまな産業ニーズに非常に適応可能にします。レーザーアライメントとプロセスのトラブルシューティングを支援するために、5400には、個別の診断機能とリモート監視機能が組み込まれています。5400は、高周波、RF励起、環状のフラッシュランプ配列によって駆動され、248 nmの短い波長から非常に高い電力でインスタントレーザーエネルギーを提供します。このレーザーは、最大30kHzのフルパルスエネルギーを出力することができ、最新のパルスシェーピング技術を使用して、優れたエネルギー安定性と短いパルス長を提供します。コンパクトなフットプリントと先進的な光学系により、5400は、ユーザーがより高い精度と効率でさまざまなサイズの構造を処理することができます。5400の高度なビーム制御機能には、アクティブなロービーム密度（LBD）技術が含まれます。これは、加工環境に応じてEQMを自動的に調整し、切断速度を最適化し、加工エラーを低減し、光学部品の寿命を延ばすユニークな機能です。さらに、ELS 5400には真空チャンバーとエンクロージャが付属しているため、高湿度および防塵環境での動作に適しています。全体として、ELS-5400は比類のない精度と汎用性を備えた次世代のエキシマレーザーです。デバイスの製造から特性評価およびテストまで、5400は最も要求の厳しいアプリケーションに最適です。