中古 CYMER ELS 5300 #9260804 を販売中

CYMER ELS 5300は半導体加工のための適度から大量の生産レーザーです。次世代レゾネータ光学を利用し、強力で信頼性の高いレーザー光源を提供します。CYMER ELS-5300は、最大出力5kW、パルス周波数8kHzまでのさまざまなレーザーパラメータを提供し、深紫外線リソグラフィおよび大量処理アプリケーションに最適です。ELS 5300は、統合された光ファイバ配送装置、高度な冷却チャンバ、信頼性の高い多軸モーションシステムなど、さまざまな高度な機能を内蔵しています。これにより、レーザーの空間的および時間的特性と同期レーザパルスを精密に制御できます。ELS-5300の中心には、最適化されたミラーと高品質の真空チャンバーを組み込んだ特許取得済みのデュアルステージデザインで構成された高度な共振器光学があります。これにより、ビーム特性が向上し、エネルギー損失が減少し、処理速度が速くなり、スループットが向上します。CYMER ELS 5300には、エッチングや選択蒸着などの用途に応じて、ガスタイプ間の高速スイッチングを可能にするように設計された新しいガスフィルユニットが装備されています。この機械はまた、ビームの特性を細かく制御することを可能にするために、液晶偏光器などの光学補助装置を導入することができます。このレーザーは、他の半導体加工システムや装置と接続するための標準的なインタフェースを備えた、多段階の生産プロセスの一部として統合されるように設計されています。これには、電源およびモニタリングシステム、およびレーザー出力の品質を記録および監視するためのソフトウェアスイートが含まれます。最終的に、CYMER ELS-5300レーザーは精密で大量の半導体の生産のための理想的な選択です。二軸共振器光学やガスフィルツールなどの独自の機能を組み合わせることで、最適なパワーと精度のバランスで迅速で信頼性の高い処理が可能になります。