中古 CYMER ELS 5300 #9245310 を販売中

CYMER ELS 5300は、リソグラフィ、エッチング、アニーリング、テクスチャリングなど、幅広い半導体製造アプリケーション向けに設計されたレーザー装置です。この堅牢なシステムは、柔軟なユニット設計と高度なソフトウェアにより、高品質で均一な処理能力を提供します。それは5kW Yb繊維レーザー、超安定化された、高い伝達レーザーのビーム配達機械および高度のスキャン機能が装備されています。空冷Ybファイバーレーザーは、長時間の作業距離にわたって連続的で均一な安定したビームで5 kWの出力を生成します。それは延長操作寿命および低い維持の高い発電の性能を提供します。レーザービーム配送ツールは、高度なガルバノメーターとピエゾ駆動スキャン技術を使用して、レーザーショットを正確に配置するための作業領域の正確なスキャンを提供します。高度なデジタル制御アセットは、ユーザー定義のレシピに簡単にアクセスして、さまざまな処理要件に対応できるため、優れたプロセスパフォーマンスを提供します。また、最適な処理条件を自動的に設定するためのインテリジェントなオートフォーカスとパワーコントロールを備え、校正時間を削減し、均一で高品質な結果を提供します。CYMER ELS-5300には、統合されたビジョンモデルとプロセス監視機能が搭載されており、精度と安全性を確保しながら、包括的なプロセス制御を提供します。ELS 5300レーザー装置は半導体製造の要求の厳しいニーズのための堅牢で汎用性の高いソリューションです。一貫した高品質のプロセス、高いスループット、高いシステム信頼性により、優れたパフォーマンスを提供します。5kW出力、均一なビーム品質、高度なスキャン機能、およびインテリジェントなオートフォーカスおよび制御機能は、高度なリソグラフィ、エッチング、アニール、およびテクスチャリング要件の広い範囲に最適なプラットフォームを提供します。