中古 CYMER ELS 5300 #293797423 を販売中

CYMER ELS 5300は、半導体チップの製造に広く使用されているダイナミックエキシマレーザーです。この先進的な装置は、コンピュータ制御された密閉されたレーザーチャンバーで構成され、高エネルギーパルスの光を提供します。チャンバーは圧力安定性があり、その内部環境はピーク効率のために非常に最適化されています。CYMER ELS-5300のコアは、最大5。0キロワット（kW）のピーク電力で193ナノメートル（nm）の波長安定化レーザー光パルスを生成します。これは、2つの独立したエキシマレーザーヘッドを含む複合光学システムを通じて達成され、それぞれが2.5kWまで独立して生成することができます。この光学ユニットは、横方向ビームの安定性を向上させるための高度な位置検出機と、時間の経過とともに強度の安定性を最適化するために特別に設計された「パワー安定化」ツールによってさらに強化されています。ELS 5300は、強力なエキシマレーザーのセットアップに加えて、高精度のステッピングモーターと高度に自動化されたファンダクトアセットを備えています。ステッピングモーターは、高速で効率的な露出時間を可能にし、ファンダクトモデルはエキシマレーザーヘッドの優れた冷却を提供します。ELS-5300には、UVセパレータモジュールやハイスループットスキャンシステムなど、幅広いオプションのアクセサリが付属しています。これらの付属品は装置が異なった適用の特定の必要性を満たすように調節することを可能にします。全体として、CYMER ELS 5300は強力で信頼性が高く、高度な半導体製造プロセスでの使用に最適な優れた設計のエキシマレーザーシステムです。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと幅広いオプションのアクセサリーにより、適応性と費用対効果の高い選択肢となります。