中古 CYMER 5400 #9237253 を販売中

CYMER5400は、CYMER、 Inc。が開発した堅牢で高精度なレーザーです。このレーザー装置は、25年以上にわたり半導体チップの製造に使用されており、多くの機能と利点を提供しています。高出力、高速パルス幅、および正確な制御により、幅広いシナリオで優れたパフォーマンスを提供します。ピーク電力100kWを実現するレーザーシステムで、通常の照明モードでは460nm （450nm）の微細な高アスペクト比の構造を効率的に加工できます。全体的に、ユーザーフレンドリーな人間工学的機能により、このユニットは業界で最高レベルの精度を提供します。最小径150nm〜200nm、線幅75nm〜100nmの高精度なビア・トレンチを最大70Mbpsで製造することができます。さらに、CYMER Rapid Adaptive Control （RAC）マシンを使用することで、レーザーの性能が向上します。この高度な制御ツールを使用すると、波長、ビーム形状、電力、パルス持続時間、動作反復速度、および基板へのビームのアライメントなど、レーザー資産に関連するほとんどのパラメータを制御できます。また、独自のActive-Shield技術を搭載し、処理時間を最大32％向上させています。基板の熱損傷を低減することで、回路の損傷を防止します。さらに、レーザーは非常に信頼性が高く、正確で、汎用性が高いように設計されており、さまざまな製造環境で一貫した高品質の結果を提供します。5400レーザーは、需要駆動型、高性能、低容量アプリケーションに最適なプラットフォームです。この装置は、高出力変調パルスレーザーのすべての利点と最先端の制御技術と人間工学に基づいた設計を組み合わせており、優れた精度でより迅速かつ正確に処理することが可能です。CYMER 5400は、薄膜蒸着やエッチング、ダイレクトリソグラフィのいずれにおいても、半導体デバイスやラミネートメーカーに最適なソリューションを提供します。