中古 ULVAC TC-7000 #9086683 を販売中

アルバックTC-7000は、半導体プロセス研究のための効率的かつ高精度な蒸発装置を提供するラボ機器およびアクセサリーです。TC-7000は、ULVAC独自の回転蒸発源と高速多軸線形伝達システムを組み合わせ、極めて精度と温度制御を可能にします。本装置は、高速化により着床間隔が短縮され、フィルム形成、高温プロセス、超薄膜コーティングなど幅広い用途に使用できます。ULVAC TC-7000は、真空機械、蒸発源、トランスファーアセンブリの3つの主要コンポーネントで構成されています。真空ツールは、2つの真空ポンプ、オイル拡散ポンプ、メカニカルポンプ、および別のターボ分子ポンプで構成されています。このセットアップは、高品質の真空環境と効率的なガス放出制御を提供します。蒸発源は真空チャンバー内に配置された回転蒸発源であり、粒子の完全な蒸発を極めて局所的かつ正確に行うことができます。トランスファーアセンブリは、蒸発源と基板の間で正確かつ高速な転送を可能にします。TC-7000は、フィルム形成の精度を確保するための温度制御機能も備えています。蒸発源の温度は、ソースホルダー内に内蔵された温度コントローラによって制御することができ、基板の温度は、プレート全体に設置された熱電対を使用してCPUによって監視および制御されます。さらに、ULVAC TC-7000には、2つ以上のソースが同時に蒸発するのを防ぐインターロック資産と、高度な真空管理のための自動排気制御モデルが含まれています。TC-7000は、薄膜コーティング、半導体加工、精度を必要とする様々な分野の研究に最適です。高度な蒸発装置、温度制御、インターロックシステムにより、ULVAC TC-7000は信頼性と正確な結果を提供します。これにより、高精度で効率的な蒸発プロセスを探すあらゆるラボに不可欠な機器となります。