中古 SHIMADZU CTO-10A VP #170893 を販売中

SHIMADZU CTO-10A VPは、クリーンルーム/ラボ処理環境向けの高度な酸化熱装置です。この多機能機械に自動化された熱酸化物の処理、化学蒸着および化学機械平面化のような特徴があります。それは次の操作を行います：化学機械研磨（CMP）、化学蒸着（CVD）、化学蒸着触媒酸化（CVCO）。これらのプロセスは、特にマイクロエレクトロニクスや光デバイスで使用される高性能コンポーネントを製造するために使用されます。CTO-10A VPにはタッチパネルインターフェースが装備されており、作業者が簡単に機械の性能を監視することができます。さらに、その制御システムは強力でありながら柔軟性があり、特定の要件に合わせてカスタマイズすることができます。その設計とレイアウトは、最適な操作だけでなく、操作とメンテナンスの容易さを保証します。SHIMADZU CTO-10A VPは、高度なエンドポイント検出機能を備えており、追加の手作業によるエンドポイント検出プロセスを必要とせずに、酸化プロセスのエンドポイントを正確に検出できます。このユニットには、酸化段階で安定した酸化温度を確保するための追加の事前酸化法も含まれています。一貫した温度レベルを維持するために、CTO-10A VPにはPID制御温度制御マシンが装備されています。このツールは、空気/アルゴンから酸素、窒素、CF4まで、さまざまなガス源と互換性があります。CTO-10Aの高度なステンレススチールシャワーヘッドは、ガスのそれぞれに正確に同量の質量を供給します。さらに、アセットは最高温度750°Cを提供し、高精度で酸化物プロセス手順を実行できるようにします。また、SHIMADZU CTO-10A VPには、触媒酸化プロセスと一体的に動作する6エリアウェハアライナーがあります。さらに、CVM、 CVD、 CVPの設定を容易にする自動カセットローディング（ACL）プロセスを備えています。CTO-10A VPの最高品質の材料は、長期的で安全で環境に優しい機械を作成するのにさらに役立ちます。このハイテクな熱酸化物装置はあらゆる実験室またはハイテクな処理環境のための強力な資産です。