中古 ADIXEN APR 4300 #9235406 を販売中
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ID: 9235406
Wafer decontamination system, 12"
CIM: E84, SECS/GEM, GEM300
Main system:
Main mini environment Platform
Main CPU & ACDC module
SMIF System: (2) ASYST 2200 Indexers
Handler system:
Wafer notch alignment with spatula
(2) Harmonic arm drive assembly with wafer handler
APM Slider with shuttle arm
Process chambers:
Etching with E-chuck
Stripping
Rinse/Spin dry
(2) Load locks
(3) RF Generators, 1250 W
Auto WVDS controller
Accessories: Remote AC box
Main chamber:
Turbo pump: 1000ltr with controller
E-Chuck
TCP RF Match
Bias RF match
(2) RF Generators
100 sccm CL2 MFC
50 sccm BCL3 MFC
300 sccm O2 MFC
30 sccm N2 MFC
1000 sccm N2 MFC
100 sccm Ar MFC
50 sccm He UPC
Strip chamber:
DSQ RF Match
Heater paddle
RF Generator
Auto WVDS controller
2000 sccm O2 MFC
300 sccm N2 MFC
500 sccm H2O MFC With controller
Rinse/Dry: Spin dryer with vacuum chuck
2014 vintage.
ADIXEN APR 4300は、ADIXENブランドの耐久性と強力なラボ機器とアクセサリーです。このユニットは、デュアルダイヤフラム真空ポンプと統合コントローラの組み合わせです。それは実験装置および付属品のための要求の厳しい適用の必要性を満たすように設計されています。APR 4300にはデュアルダイヤフラム真空ポンプと統合コントローラがあり、最も要求の厳しい実験環境でも信頼性が高く効率的な操作を提供するように設計されています。ユニットには1/4 NPT継手が装備されており、最大ポンプ容量は8l/minです。それは3段階操作の強力な1150Wモーターを特色にし、安全で、信頼できる操作のために証明されるセリウムです。ユニットには、フィルターの寿命を延ばし、オイルミストを形式的に低減する自己測定オイルミストドレインが内蔵されています。ADIXEN APR 4300は、圧力と流量を表示するカラーLCDディスプレイを備えており、ユーザーはシステムのパフォーマンスを簡単に監視できます。ユニットは安全に動作するように設計されており、さまざまな安全機能によって損傷から保護されています。単位に保護のIP 21C程度があり、ULは承認され、絶縁されたファンモーター、積み過ぎの暖房、積み過ぎの流れの保護および熱的に絶縁された反サージ部屋を特色にします。APR 4300は使いやすいモジュラー設計を備えており、ユーザーにとってセットアップとメンテナンスが簡単です。また、軽量でコンパクトなため、搬送・保管が容易です。結論として、ADIXEN APR 4300は高度で強力な実験装置および付属品です。これは、最も要求の厳しい環境でも信頼性の高い効率的なパフォーマンスを提供するように設計されています。このユニットには、さまざまな安全機能が装備されており、ULが承認されています。さらに、モジュラー設計のおかげでセットアップとメンテナンスが簡単です。APR 4300は強力で信頼できる真空ポンプおよび統合されたコントローラーを必要とする実験室の適用のための理想的な選択です。
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