中古 VEECO / DEKTAK RF350 C2 IBE #9124214 を販売中

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ID: 9124214
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 1997
Ion beam etcher, 6"-8" Process modules transport module systems include: BROOKS Automation robot wafer handler system Loadlock A & B Electronics cabinet contains: (2) APC 450 UPS Raritan compu-switch Industrial PC (2) LEYBOLD INFICON IG3 Vacuum gauge controllers LEYBOLD NT20 Turbovac controller (2) SORENSEN DCS60-18 Power supplies SORENSEN DCS20-150 Power supply SPELLMAN SL300 Power supply SPELLMAN SL1200 Power supply Process modules include: LEYBOLD MAG2000 Turbo pump & controller CTI Onboard cyropump with fastregen sputtering module CTI 9600 Compresser RFPP AM-10/20 Auto matching network ADVANCED ENERGY RF10M / RF20M Power supply CTI Onboard controller RF matching network monitor ADVANCED ENERGY RF-20MWC RF Generator Main power distribution panel: 208V,100A 1997 vintage.
VEECO/DEKTAK RF350 C2 IBEは、高度な材料の表面の調製と特性評価のために設計されたイオンミリング装置です。薄膜の計測、故障解析、平面化などの用途に適しています。このシステムは、エネルギーイオンの焦点を当てたビームを使用して、材料の表面を粉砕します。最大350mmのペイロードを収容でき、幅広いサイズと形状のサンプルを粉砕することができます。このユニットには自動化された制御機があり、ユーザーはフライス加工プロセスに必要なパラメータを定義することができます。コンピュータ制御のインターフェースにより、イオンビームを2面の動きで簡単に操作できます。また、サンプルの表面に複雑な粉砕フィーチャーを作成することもできます。このツールには、粉砕された表面の画像/ビデオを取得するための高解像度のデジタル画像/ビデオ資産が装備されています。このモデルは、チャンバーを開けたときにシステムが動作するのを防ぐインターロック装置などの高度な安全機能を備えています。また、緊急停止ボタンが含まれています。このユニットは、環境安全とエネルギー効率のための業界標準に準拠しています。ガス配達機械はガスの流れおよび粒子の生産の精密な制御を提供し、最低の無駄を保障するように設計されています。さらに、このツールは、消費電力を最小限に抑え、ノイズレベルを低減する高度な水冷アセットを使用しています。このモデルはまた、完全に自動化されたプラズマ洗浄装置を統合しています。これにより、加工前に表面汚染を除去することができます。それはまた粉砕されるサンプルの表面の質を保障するために部屋の壁の化学洗浄が可能です。全体として、VEECO RF350 C2 IBEは、効率的で正確な表面処理と特性評価システムを提供するとともに、最大限の安全性と環境保護を提供するように設計されています。このユニットは、計測、故障解析、薄膜平面化のさまざまなアプリケーションに最適なソリューションです。
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