中古 VEECO RF 350 #293822075 を販売中

製造業者
VEECO
モデル
RF 350
ID: 293822075
ウェーハサイズ: 8"
Ion Beam Etcher (IBE), 8" BROOKS MX500 Process module Transfer module Loadlocker Aligner.
VEECO RF 350は、半導体および材料科学アプリケーションにおける精密薄膜エッチングおよび材料除去用に設計された先進的なイオンフライス加工装置です。このシステムは、イオンビーム爆撃の原理に基づいて基板から材料を選択的に除去するために動作し、比類のない精度でサンプルの高解像度パターニングと制御薄型化を可能にします。VEECO RF-350の汎用性の高い機能により、表面形態や材料の均一性を必要とする研究、開発、生産プロセスに不可欠なツールとなります。RF 350の中心には、高度な無線周波数(RF)イオン源があり、サンプル表面に正確に向けることができる高エネルギーイオンビームを生成します。このイオンビームは、荷電粒子、典型的にはアルゴンイオンで構成され、運動エネルギーと運動量が大きく、物理的なスパッタリングによって効率的かつ制御された物質除去を可能にします。RFイオンソースは、優れたビームコリメーションと安定性を提供し、サンプル表面全体に均一なエッチングを確保し、サブミクロン分解能で複雑なパターンを作成することができます。イオンミリングユニットRF-350、イオンビームエッチングプロセスの制御環境を提供する洗練されたチャンバー設計を備えています。このチャンバーには、現場でのプロセス監視と制御機能が装備されており、リアルタイムのフィードバックとプロセスパラメータの調整を可能にし、最適なエッチング条件を達成します。さらに、先進の真空およびガス処理システムを搭載し、所望のプロセス条件を維持し、運転中の汚染を防止します。VEECO RF 350イオンミリングツールの主な利点の1つは、その優れたプロセスの汎用性と拡張性です。このアセットは、幅広いイオンビームエネルギー、電流密度、ビーム径を提供しており、ユーザーはエッチング処理を特定の材料特性およびアプリケーション要件に合わせて調整することができます。さらに、このモデルの自動サンプル処理および位置決め機能により、複数のサンプルの高スループット処理が可能になり、ラピッドプロトタイピングや大規模生産環境に最適です。VEECO RF-350イオンミリング装置は、運転中のオペレータの保護とシステムの完全性を確保するための高度な安全機能とインターロックを備えています。このユニットは、イオンビーム加工装置の業界標準に準拠するように設計されており、信頼性と一貫した性能を保証するために厳格な試験および品質管理措置を受けています。さらに、VEECOは包括的なトレーニングとサポートサービスを提供し、ユーザーがマシンの能力を最大化し、アプリケーションで最適な結果を達成するのを支援します。結論として、RF 350イオンミリングツールは、精密材料エッチングおよび薄膜加工のための最先端のツールであり、半導体および材料科学アプリケーションにおいて比類のない性能、汎用性、信頼性を提供します。高度なイオンソース技術、洗練されたチャンバー設計、自動化されたプロセス制御機能により、RF-350は、ユーザーが優れた精度と効率で薄膜パターニング、デバイス製造、材料研究で優れた結果を達成することができます。
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