中古 VEECO ME-1001 #9236813 を販売中
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ID: 9236813
ウェーハサイズ: 8"
Ion beam milling system, 8"
Argon plasma for microelectronics patterning
Water cooled substrate holder.
VEECO ME-1001は、高精度表面処理のために設計されたイオンミリング装置です。特許取得済みの表面処理システムは、半導体や医薬品の用途に適しています。このユニットは、粉塵や破片の粒子が機械を汚染する可能性がなく、非常にタイトな粒子制御を可能にします。静電界、高精度表面処理、高性能真空ツールを組み合わせることで、厳密なプロセス制御を実現します。ME-1001は、高精度で均一な表面処理を特徴とする完全自動化されたマクロポアミリングアセットです。これは、一般的にイオンミリングと呼ばれるフライス盤として高圧でイオン化ガスを使用しています。これにより、従来の乾燥研磨システムよりも優れています。VEECO ME-1001モデルは、インフィードチャンバー、イオンミリングチャンバー、およびエンドオブラインイオン蒸着チャンバを備えています。また、強力な真空装置を備えており、清潔で安全で一貫した操作を保証します。ME-1001は、二次電子を生成するために接地アノードを備えた高度な加速器設計を利用して、均一な表面修正を可能にします。さらに、このシステムは、サンプルを損傷から保護するたわみユニットを備えています。VEECO ME-1001はまた、微粒粒子と効率的なフライス加工作業を保証する画期的な空冷機を備えています。このツールには、正確なプロセス監視のために、監視ポート、温度センサ、質量分析計からなる高精度のフィードバック制御アセットが装備されています。また、試料とイオン化ガスの温度、試料とイオン源の距離、イオンビームエネルギー、イオン密度を制御することができます。ME-1001により、人間の介入を最小限に抑えて、目標とする表面テクスチャを一貫して達成できます。高い精度と柔軟性を備え、複雑な形状の加工と優れた再現性を実現します。薄膜の成膜にスムーズな表面仕上げを必要とする基板加工に最適です。全体として、VEECO ME-1001は高度で高精度で信頼性の高いイオンミリング装置であり、お客様固有の要件を満たすための柔軟性を提供します。その優れた仕様と優れた性能は、高精度で複雑な形状の処理のための好ましい選択肢となります。
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