中古 VEECO / ION TECH MPS-3000 HC #9196218 を販売中

VEECO/ION TECH MPS-3000 HCは、様々なマイクロマシニング用途に使用される高度なイオンミリング装置です。このシステムは、材料を微細なスケールで効果的にエッチングし、ナノスケールの構造、形状などを作成します。VEECO MPS-3000 HCは、さまざまな半導体および機械加工アプリケーションに最適です。この高度な技術は、優れたイオン切断能力を提供し、優れた結果を生み出します。ION TECH MPS-3000 HCは、高いビーム電流密度を特徴とし、2つの別々の切断ヘッドが回転運動で移動する切断ユニットを備えています。このマシンは、高解像度で1 µmまで正確に機能をエッチングすることができます。正確かつ正確な結果を得るために、イオンビームは厳密に集中して循環し、フレームレートは非常に高速です。さらに、このツールにはいくつかのステージが装備されており、それぞれが異なる材料、マスク、エッチングパラメータを適用するように設定できます。この資産には、いくつかの安全機能も組み込まれています。イオンビームは、ウェーハに到達する前にコンディショニングされ散乱され、処理中のウェーハ温度を最小限に抑えます。エンドステーションは、ウェーハのずれを検出できる自動ウェーハハンドリングモデルを備えており、機器は自動的にずれを補償します。これにより、ウェーハやシステムの他の部分への損傷を防ぎます。MPS-3000 HCは、さまざまなプロセス制御機能も提供します。ユーザーは遠隔地からユニットにコマンドを発行でき、カスタマイズにはさまざまな制御パラメータを使用できます。さらに、このマシンはリアルタイムの監視とデータログ解釈を提供し、細かいプロセス調整を可能にします。これは、長期間の本番稼働にわたってツールのパフォーマンスを維持するのに役立ちます。この資産はまた、ユーザーフレンドリーな機能の広い範囲を提供しています。直感的なGUIインターフェースにより、理解とナビゲートが容易になり、モデルは明確なチュートリアルとメンテナンスサポートを提供します。さらに、この機器には安全なリモートコントロールが装備されており、ユーザーは遠隔地からシステムデータにアクセスすることができます。全体として、VEECO/ION TECH MPS-3000 HCは、幅広いマイクロマシニング用途に使用される高度で強力なイオンミリングユニットです。その切断機能、精密制御、安全機能は、さまざまな半導体加工タスクに優れた結果をもたらします。