中古 VEECO Ion beam etcher #9215143 を販売中

VEECOイオンビームエッチャー（VEECO Ion Beam Etcher）は、イオンミリングシステムとしても知られ、基板やワークの表面から材料を除去するために集中ビームのイオンを使用するエッチングツールの一種です。これは通常、ワークの表面にパターンや構造を作成するために行われます。イオンビームは、ワークの表面に向かってイオンを加速する電場を使用して作成されます。次に、コリメータを使用してイオンを集中させ、ビームが正確な形状になるようにします。イオンビームエッチャーは、望ましいエッチング効果を生み出すために協力するいくつかのコンポーネントで構成されています。まず、高電圧発電機は、イオンビームを作成するために使用される電場のためのエネルギーを提供します。これは、使用される材料に応じて、蒸発源または振動源となる可能性があるイオン源に接続されます。次に、イオン源と基板の間にビームコレクタを配置して、基板に向けられていないイオンを収集し、システム内の他のコンポーネントの露出を制限します。エッチング処理は、電界に印加される電圧を変化させることによって制御することができます。これにより、イオンのエネルギーと速度が変化し、基板のより詳細なエッチングが可能になります。ビームコレクタは、ビームサイズと強度を変更するために移動することもできます。VEECOイオンビームエッチャーは、さまざまな表面をエッチングするための効率的で正確なツールです。表面計測、半導体デバイス加工、MEMSデバイス製造に最適です。また、多くのアプリケーションにとって費用対効果の高いソリューションです。