中古 VEECO IBD / IBE #9313137 を販売中

VEECO IBD/IBEは、平面化、減算エッチング、およびデバイス試験アプリケーションに使用されるイオンミリング装置です。このシステムは、可能な限り最高品質の結果を達成するために、イオンエネルギーとフラックスを正確かつ超微細に制御できるように設計されています。高度に最適化されたビームアセンブリとリニアコントローラを備えているため、ユーザーはイオンビームパラメータを微調整して最大のエッチング深さと均一性を実現できます。IBD/IBEの中心にはフィールド放出電子銃があり、基板に集中して加速することができるエネルギーイオンの広いビームを生成します。ビームが基板に到達すると、地形表面構造をレベルアウトするために使用される平面化効果が生成されます。VEECO IBD/IBEには、エッチング深度を正確に制御する機能もあり、複雑な3D機能でも均一なエッチング速度を提供します。このユニットのリニアコントローラは、スムーズで調整可能なビームパラメータを生成することができ、ユーザーはビームを微調整して最適なエッチング特性を得ることができます。VEECOの高度なビーム最適化プロセスにより、隣接するフィーチャーに横向きの地形損傷を発生させることなく、構造の地形全体を平準化できます。平面化および減算エッチングに加えて、IBD/IBEはさまざまなデバイス試験アプリケーションにも使用できます。可変ビーム電力により、電流対電圧および温度依存の測定を精度の高い精度で行うことができます。このマシンには、精密なデバイス試験操作を可能にするいくつかの正確なモーションコントロールオプションも含まれています。全体として、VEECO IBD/IBEは、ビームパラメータとモーションコントロール機能を高精度に制御できるように設計された高度なイオンミリングツールです。高精度を必要とする平面化、減算エッチング、デバイス試験に最適なツールです。