中古 VEECO IBD-350 #9043203 を販売中
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ID: 9043203
Ion Beam Deposition System
Main Unit:
(1) Deposition Chamber 0.2 cubic Meters, Pressure = -1Bar
(1) Deposition Chamber 0.75 cubic Meters, Pressure = -1 Bar, with Additional Components to Include
(1) Pfeiffer Model TPU 2200UPC Turbo Molecular Pump
(1) Pfeiffer TPU 2200C Turbo Molecular Pump
(1) CTI Cryogenics ON-BOARD Water Pump
(1) Amtek Process Instrument Dymaxion Dycor Residual Gas Analyzer Mass Spectrometers
Control Racks with the Following Combined Components:
(4) Rack Servers
(1) LCD Monitor
(1) Raritan MasterConsole MX Module
(5) CTI Cryogenics Controllers
(2) Pfeiffer Model TCP380 Vacuum Controller
(3) Sorenson Model DCS60-18E Power Supplies
(3) Sorenson DCS600-1.7E
(1) Hiden Analytical RC Interface Module
(3) Spellman SL1200 Controllers
(3) Spellman SL300 Controllers
(2) RFPP Model RF20M Power Supply
(4) APS Smart UPS SC450 Power Supplies
(1) Pfeiffer TCP5000 Vacuum Controller
(2) Pfeiffer Vacuum TCP600 Controllers
Support Equipment to Include:
(1) Polycold Series Model PFC-1100-LT, 2007 vintage
(2) Edwards QDP40 Dry Vacuum Pump Systems with Q-Series 2MCM Interface Modules
(1) Edwards QDP80 Dry Vacuum Pump System with a Q- Series 2MCM Interface Module
(3) CTI Cryogenics Model 9600 Compressors;
(1) Neslab CFT-150 Recirculated Chiller
(1) Power Cabinet, 208V, 3 Phase, 60Hz, 100A.
VEECO IBD-350は、精密表面フライス加工用に設計された完全自動化されたコンピュータ制御イオンミリングシステムです。Ion Beam Neutralizer System （IBN）を活用した高度なマイクロエッチング技術により、サンプルの高精度カットを実現しています。サブミクロン精度の可変深度加工が可能です。VEECO IBD 350は、Y方向に7mm、 X方向に37mmの範囲の200mm X-Yステージを備えています。10-335Kv/Aイオン源と0。003mmの相対位置精度を備えています。IBD-350はスパッタリング、エッチング、ビーム蒸着、フライス加工を行うことができます。これは、低温および高温アプリケーションの範囲で優れた表面特性を提供します。イオンミリングプロセスは、集中した層の材料をエッチングするために、エネルギーイオン、典型的にはアルゴンに依存しています。IBD 350は、表面効果を高めながらカットの深さを減らすために、独自のエネルギー比を最大5：1にしています。従来のフライス加工に比べ、エッチング速度を約50％向上させるなど、高効率な加工が可能です。VEECO IBD-350は、お客様固有の要件に対応するために、さまざまなカスタマイズ可能なユーザー設定を備えています。精密で繰り返し可能なエッチングまたはフライス加工を提供し、さまざまな粒子のイオンビーム深さと入射角度を制御します。また、VEECO IBD 350は、初期段階で機器の障害を識別するエンドポイント検出と統合診断機能も備えています。IBD-350は、望ましいサンプル表面を得るために高精度のフライス加工を必要とする研究者や業界エンジニアのための信頼できるツールです。これは、高速切削速度、可変エネルギー比、およびユーザー制御設定により、従来のフライス加工よりも大きな利点を提供します。IBD 350は非常に効率的で費用対効果が高いため、産業および研究用途に最適です。
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