中古 VEECO / DEKTAK RF 350 #9235881 を販売中

VEECO/DEKTAK RF 350は、さまざまな用途に対応した超薄型基板を製造するように設計された高精度の自動イオンミリング装置です。このシステムは、自動サンプル調製、イオンガンおよび/またはエッチング部品、制御エレクトロニクスなどの高度な機能を統合しています。これにより、フライス加工角度、ビームエネルギー、露出時間を正確に制御することができ、超薄型基板の製造において比類のない精度を得ることができます。基板は機械に取り付けられ、リソグラフィーのカスタムメイドのマスクが基板の上に置かれます。イオン銃からは、点状のスポットに細かく集中したイオンのビームが生成されます。このビームは、目的の平面で基板を粉砕するために校正された一連の正確に形成された角度で基板を爆撃します。イオンが基板に当たると表面がエッチングし、目的の部品のジオメトリを達成することができます。イオンエネルギーとビームのたわみを微調整し、ミリングプロセスの速度と精度を制御します。VEECO RF 350のイオンガンは、金属やシリコンなどの代替エッチング率の材料だけでなく、特殊なイオンガン部品やエッチング部品（カソード、シールドおよび/または抽出器）を製造することができます。さらに、チャンバーの温度とその環境を調節することができ、イオンビームの拡散の影響を低減するための正確な環境制御を可能にします。基板を高精度・高精度に切断し、希望のパターンを作り出すことができます。DEKTAK RF 350は、複数の基板を同時に処理するカセットtoカセット機にも組み込むことができます。これにより、切削プロセスの全体的な精度と効率がさらに向上します。高度な機能、精密な制御、柔軟性を兼ね備えたRF 350は、最高レベルの精度でさまざまな基板上でイオンミリングを行うのに理想的な選択肢です。その精度、スピード、品質は、堅牢で高品質の超薄型基板を必要とする人々のための優れた選択肢です。