中古 VEECO 350 #9119090 を販売中

VEECO 350は、精密なサブミクロン表面および構造の調製を正確に制御するために設計された可変エネルギーイオン粉砕装置です。複数の周波数イオン源を使用して、0から350 keVまでのさまざまな平面角度イオンビームエネルギーを作成します。これにより、サンプルの特定の領域から材料を選択的に除去し、表面地形や構造特徴を制御することができます。VEECO 350を使用すると、攻撃角度を6度から88度まで選択することができ、特定の材料厚を完全に除去するために8nm以下のフィーチャーサイズを使用できます。高いスループット自動ガンシステムにより、大面積のフライス加工が可能で、再現性の高い複数のサンプルの同時コーティングが可能です。保護フィルムコートはサンプルにも適用できます。この集積ユニットは、イオンを正負のエネルギーに集中させることができ、方向ミリング精度を向上させます。スパッタエッチングや化学蒸着（CVD）フィルムなど、さまざまなイオンフライス加工結果を提供するために、350用のさまざまなタイプの統合アクセサリーを追加することができます。イオンビーム源には、精密なイオンビーム制御とサンプルの安定性を高めるための多くの機能も含まれています。機械はUHVか基盤圧力で作動させることができます。成膜またはフライス加工に様々なイオンを使用することができ、目的のフライス加工結果を得ることができます。このツールの窓はまた、最小限の汚染で真空対応サンプルのフライス加工を可能にします。このアセットは、サンプルの読み取りと分析に画像調査技術を使用しており、基板の組成と厚さを迅速かつ正確に決定することができます。VEECO 350は多軸オートメーションを備えており、さまざまなサンプルにカスタマイズ可能な高速かつ再現性の高いフライス加工プロセスを可能にします。全体的に、350は、ユーザーがさまざまな基板のイオンミリング結果を正確に制御することができます。その柔軟性、精度、自動化された機能により、高度なナノ構造やサブミクロン表面を製造するための強力なツールとなります。