中古 US STONEWARE 75 3RM #93375 を販売中
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US STONEWARE 75 3RMイオンミリング装置は、単一および複数の深さの動作モードの両方で精密制御表面エッチング通信に使用される高度な半導体製造装置です。イオンミリングシステムは、2つの基本部品で構成されています。1つ目は、5MHz〜75MHzのプログラム可能な周波数範囲と最大出力75kWの誘導源を含む電源です。2番目の部分は、高圧アルゴンガスを充填したスチールエンクロージャ、開口部のセット、および9方向電源分配機で構成されるイオン分配ユニットです。Stoneware 75 3RMは、12面の可変深度フライス加工プロセスを利用して、ユーザーはエッチング処理を最適化し、希望するエッチング効果をより深く、または浅くすることができます。溶接された2ピース回転ヘッドを持ち、チャック速度が調整可能で、最大エッチング深さ4。25 mmに達することができます。このツールは、ガス流量が毎分0。5〜3。0リットル(L/min)の外部ガスインジェクタと6 x 100 mmの開口板を備えています。フライス盤は調整可能で、可変深度制御が可能で、最適なエッチング深さを実現します。最もよいイオン製粉プロセスを達成するためには、ユーザーはチャックを渡るガス、圧力および流れの右の組合せを利用しなければなりません。アセットには、イオンミリングプロセス中にAr、 Xe、およびArとXeガスの混合物を提供する機能があります。これらのガスはエンクロージャに注入され、チャックに到達するまで開口部のセットを通過します。生産を最大化するために、Stoneware US STONEWARE 75 3RMには、エッチングプロセス中の機械の故障や損傷のリスクを低減する複数の安全機能が含まれています。例えば、このモデルは140Aの過電流で自動的にパワーシャットオフし、2段階の高低電流精度装置を備えています。このシステムには、短絡障害、ガス漏れ、および真空圧力を検出できる一連のセンサーも含まれています。全体として、75 3RMイオンミリングユニットは、エッチング工程のための高度で費用対効果の高い半導体製造ツールであり、他の方法に比類のない速度と精度で優れた品質のエッチング表面機能を生成する能力をユーザーに提供します。機械は顧客が米国の石器から期待するようになった信頼できる結果を提供するように設計されています。
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