中古 SHIBAURA BF-13A #145929 を販売中

SHIBAURA BF-13Aは、精密材料の除去とエッチングのために使用されるイオンミリング装置です。半導体やMEMSの製造、ディープエッチング、ナノ加工など、さまざまな用途に適しています。このシステムは、表面を侵食するために基板をターゲットとした強力な高エネルギーAr+イオンビームを使用しており、正確な材料除去を可能にしています。イオンビームは最大830Wの静電界と磁場を使用して誘導され、ビームの軌道を細かく制御することができます。深さ500ナノメートル、幅200ナノメートルまでの高分解能エッチングが可能です。これは、機械の充電およびスペースデジタル電圧計で調整できるAr+イオンビームの低ビーム拡散と速度のために可能です。BF-13Aはまた、ガス入口機械と緊急停止やインターロックなどの安全システムと、安全機能の範囲を提供しています。さらに、クローズドループのフィードバックツールを備えており、正確なビームエネルギー制御を提供します。セラミックス、ガラス、金属など様々な素材に適した素材を保有することができます。また、人間工学に基づいたコントロールパネルで設計されており、パラメータの入力が容易で、操作が迅速かつ簡単になります。全体的に、SHIBAURA BF-13Aは精密材料の除去とエッチングのために設計された高度なイオンミリングモデルです。強力な高エネルギーAr+イオンビームを備えており、システムの正確な制御機能と安全システムと組み合わせることで、正確で深いエッチングと微細な材料除去が可能です。