中古 SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200 #293828738 を販売中

ID: 293828738
ウェーハサイズ: 4"-6"
ヴィンテージ: 2015
Ion milling system, 4"-6" Vacuum chamber with pump system Handling robot with cassette loading Vacuum pre-aligner / Wafer ID reader Neutralizer and (4) Axis systems Wafer chuck with mechanical wafer clamping and helium backside Control rack with electricity supply and control PC Interface: SECS / GEM RGA Integration Gas channel Handling unit: MX500 With (2) Load-locks RGA Via ethernet Manual control of RGA Visual output of measurement (14) Individuals masses: Alarm threshold / Tolerance (14) Masses: Online / Offline trend Gas piping 1/4" stainless steel with VCR fitting Cabinet system frame Hardware integration SECS / GEM Integration: Mass flow controller (MKS) / (2) Pneumatically operated valve (7) Additional gas channels Inert, 1/4" RGA MKS HPQ3 S For process monitoring: Power supply GRANEVILLE PHILLIPS Micro gauge Hardware: MKS Instrument HPQ3S IP RGA Controlled angle valve between process chamber RGA To protect filament Process chamber: BROOKS MX 400 Handling robot Axis system (X-Y-Z-Phi axis) SECS II-SEMI E5-0706 (Standard) GEM-SEMI E30-1103 (Standard) Lower level protocol: HSMS-SS - SEMI E37-0303 (Standard) Facility supply: (3) Gas channels Compressed air Cooling wafer distribution Handling platform: BROOKS MX500 With (2) cassette load-locks MX400 With load-lock Wafer over (2) cassette load-locks 2015 vintage.
SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200は、半導体製造、研究開発、およびナノスケール処理能力を必要とするその他のハイテク産業における精密材料除去用に設計された先進的なイオンフライス加工装置です。SCIA SYSTEMSは、革新的なイオンビーム加工ソリューションのリーディングプロバイダーとして、優れた表面品質、均一性、および材料除去プロセスの制御を要求する最先端のアプリケーションの要求に応えるために、TRIM 200を開発しました。SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200イオンミリングシステムは、最先端の技術と高度な機能により、優れた性能と柔軟性を提供します。高効率イオン源を搭載しており、焦点イオンビームを生成し、精密かつ制御された材料除去を実現します。このイオンビームは、異なる材料の特定の処理要件に合わせてさまざまなイオン種で構成することができ、プロセスの柔軟性と効率を最大限に高めます。TRIM 200マシンの重要な特徴の1つは、ハイスループット処理と効率的な操作を可能にする高度な自動化機能です。このツールには、イオンビームエネルギー、発生角度、フライス加工時間などの処理パラメータを簡単にプログラムおよび制御できる高度なソフトウェアインターフェイスが装備されています。この自動化機能は、資産の生産性を向上させるだけでなく、複雑な製造プロセスにおいて一貫した再現性のある結果を保証します。自動化機能に加えて、SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200イオンミリングモデルは、精密で信頼性の高い材料除去を保証するために、さまざまな高度なプロセス監視および制御機能を提供します。この装置には、イオン電流密度、ビームプロファイル、および材料除去率などの主要なプロセスパラメータをリアルタイムで監視できるin-situ計測ツールが装備されています。このリアルタイムフィードバックメカニズムにより、ユーザーはプロセスパラメータをオンザフライで調整して、目的の材料除去速度と表面品質を達成できます。さらに、TRIM 200システムは、フライス加工時に基板の正確な位置決めとアライメントを可能にする高精度サンプルステージで設計されています。サンプルの位置を正確に制御することで、表面全体に均一な材料除去が可能になり、高品質で優れた再現性が得られます。また、様々な基板サイズや形状に対応できるサンプルホルダーや治具のオプションも用意しており、半導体やマイクロエレクトロニクス業界の幅広い用途に適しています。全体として、SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200イオンフライス盤は、高精度の材料除去および表面改質アプリケーション向けの最先端ソリューションです。TRIM 200は、高度な技術、オートメーション機能、プロセス制御機能を備えており、さまざまなナノスケール処理アプリケーションで優れた結果を達成するための信頼性の高い効率的なツールをユーザーに提供します。SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200ツールは、半導体デバイスの製造、研究、プロトタイピングに使用されるかどうかにかかわらず、ハイテク産業の進化するニーズを満たすために卓越した性能と汎用性を提供します。
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