中古 PHILIPS / FEI Strata DB235 #293614693 を販売中

PHILIPS/FEI Strata DB235は、半導体およびその他のデバイス材料の詳細、高解像度フライス加工および研磨用に設計されたイオンフライス装置です。高信頼性のダイレクトドライブ振動ナノミルと、先進のダウンフォースセンシング技術を搭載した独自の研磨ステーションを備えています。このシステムは、特に高密度の設計規則を必要とする困難な基板や様々な材料のために、非常に精密なナノスケールのフライス加工と研磨を達成することができます。このユニットは、イオンビーム、プラズマ強化イオンビーム、ダイナミックミリングヘッド、電子ビーム、光学フォトニクス、MEMSデバイスなど、さまざまな用途のための研磨ツールなど、幅広いツールを提供しています。FEI Strata DB235は、イオンビーム特性を変更するだけでなく、サンプル表面をエッチングして磨くための自動プラズマ生成プロセスを提供する、業界をリードするFEIプラズマプロセッサを搭載しています。このプロセスは、適切なプラズマパラメータを選択する際にサンプル固有の材料特性を考慮するように特別に設計されています。高度なin-situプラズマ診断機能により、アクティブなイオンミリングプロセスを観察し、イオンビーム品質を監視し、必要に応じてビームパラメータを調整できます。PHILIPS STRATA DB 235は、オンボードイメージのキャプチャと表示機能を備えており、広い視野でサンプル表面をリアルタイムで表示できます。これは、自動化されたマイクロマニピュレータと組み合わせて、ミリングパラメータの手動チューニングと、位置決め、アライメント、スキャンのためのマイクロツールの自動動作をサポートします。ユニークな「アクティブ」真空機械は、フライス加工のための極めて低い真空レベルを可能にし、フライス加工の速度と深さを向上させ、材料の変形とひずみを低減します。このツールには、硬質材料のフライス加工およびエッチング用のガス注入アセットが装備されています。安全な動作を保証するために、Strata DB235はインターロックシステム、スパークインジケータランプ、圧力計、温度センサー、組み込み衝突保護システムなど、さまざまな安全機能を備えています。