中古 PHILIPS / FEI Strata 400S #9268145 を販売中

PHILIPS/FEI Strata 400Sは、研究および産業用途向けのサンプルおよび試料の製造に使用されるイオンフライス盤です。薄膜パターニングや均一エッチングのための先進的かつ効率的な装置です。金属、化合物半導体、誘電材料のサブミクロンエッチングの幅広い用途に最適です。FEI Strata 400Sは、均一性と再現性を備えた優れたエッチング速度を達成することができます。フォーカスされたイオンビーム（FIB）技術を使用することにより、マシンはサブミクロンの解像度に層をエッチングすることができます。複雑なサンプルの再現可能な処理に、高いスループットレートと生産性を提供するように設計されています。また、試料の調製や詳細な欠陥解析のための深層薄化も可能です。PHILIPS STRATA400Sは、処理中のデータ収集の増加を可能にするために、複数のプラットフォームを備えた高度で完全に自動化されたツールを備えています。CADと互換性のある自動パターニング用のコンピュータ支援設計（CAD）アセットが付属しているため、高速かつ正確なサンプル作成を高スループットで実現できます。このモデルは、サンプルをプラズマで事前洗浄し、サンプル層をサブミクロンの厚さにエッチングし、イオンミリングでポストクリーニングすることができる完全自動化された調製チャンバーを備えています。また、Litho-tiltサンプルステージを備えており、サンプルの正確な3D傾斜制御を可能にし、迅速かつ効率的な試料スキャンと細部の画像処理を可能にします。Strata 400Sは、Arイオンビームエネルギーを使用したエッチングプロセスに適した幅広い圧力および温度で動作することができ、プロセス制御を改善するための自動ロードロックシステムが含まれています。また、高速で精密で効率的なサンプル搬送ユニットと高度に自動化された冷却機を備えています。高度なシステムに加えて、FEI STRATA400Sは、ユーザーフレンドリーなインターフェイスとさまざまなシステムとプロセスのリモート操作を提供する包括的なソフトウェアパッケージを備えており、サンプル準備プロセスの完全な自動化とデータ収集の改善を可能にします。これにより、研究開発用のサンプルを作成する際に、このツールがさらに効率的かつ正確になります。