中古 PHILIPS / FEI Strata 400 #9302302 を販売中

PHILIPS/FEIストラタ400イオンミリング装置は、トランジスタやマイクロプロセッサなどの複雑なマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用される汎用性と強力なエッチングツールです。FEI Strata 400は、3軸電動モーションコントロールシステムを備えており、基板とイオンビームの簡単かつ正確な位置決めを提供します。イオンビームエネルギーは0から300ボルトまで調整可能で、最大20ミリアンペアの調整可能なイオンビーム電流と結合されています。3軸モーションコントロールユニットにより、基板はわずか数ナノメートルの厚さまで正確にミルダウンできます。PHILIPS Strata 400には、さまざまな3Dパターンやその他の構造サイズを理解できるパターン認識機が搭載されています。また、異なる材料を区別し、高いアスペクト比の特徴を正確に加工するために、最高点を正確に検出することができます。さらに、Strata 400には、イオンビーム電流を微調整して正確な感度を得ることができるクローズドループ作動ツールが含まれています。PHILIPS/FEI Strata 400イオンミリングアセットには、エッチングガスとして酸素、塩素、フッ素、六フッ化硫黄、キセノンを追加エッチングガスとして、さまざまなガス供給システムがあります。また、材料の正確な量をエッチングするために基板の調節可能な時間/持続時間制御上のガスの広い範囲の流れを制御するための調整可能なガス流量を備えています。FEI Strata 400には、基板の積み込みと取り外しを自動化するソフトウェア、チャンバークリーニング、真空ポンプのメンテナンスなどのオートメーションモデルが組み込まれています。エッチング工程のセットアップや操作が容易で、問題が発生した場合のエラー処理も可能です。PHILIPS Strata 400イオンミリングシステムは、さまざまな用途に適した精密な構造をエッチングするための強力で信頼性の高いツールです。精密モーションコントロール、調整可能なビームエネルギー、パターン認識技術、ガス配送システム、およびオートメーションの組み合わせにより、複雑なナノスケール電子デバイスを製造するための理想的なツールです。