中古 PHILIPS / FEI DB235 #293616080 を販売中

PHILIPS/FEI DB235は、マイクロエレクトロニクス部品の精密表面研磨（または「スパッタリング」）用に設計されたイオンミリング装置です。このフライス加工システムは、高度に焦点を当てたイオンビームを使用して、基材を損傷することなく表面からマイクロスケールの欠陥を除去します。イオンビームは、真空チャンバーに結合されたイオン源によって生成されます。イオンビームの大きさと形状を制御するために、真空チャンバーの入口に調整可能な開口板を設置します。イオンビームは一連のレンズによって集中され、指示され、通常5ミクロン以下の直径の良いビームを作成します。この装置を使用すると、1ミクロン以下の精度で部品を粉砕することができます。ミリングユニットのプログラミングにより、スパッタリングの深さ、イオンの方向、スパッタリングの速度を調整できます。微細な研磨や粗い研磨ができるように加工条件を調整することができます。さらに、FEI DB235機では、イオン源の電力を調整してビームエネルギーを変化させ、異なる基板や欠陥除去パターンに対応することができます。このツールには、多くの安全機能が装備されています。安全シャッターはビームが使用されていないとき活動していないことを保障します。チャンバー内の自動洗浄アセットは、内部表面を定期的にスクラブし、フライス加工中にコンポーネントに汚染が容易に転送されないようにします。PHILIPS DB 235モデルは、高密度集積回路やMEMSの製造など、多くのマイクロエレクトロニクス用途に最適です。この装置は精密フライス加工と表面研磨のための費用対効果の高いソリューションであることが証明されており、研究と産業の両方で使用することができます。