中古 PHILIPS / FEI DB 830 #9121001 を販売中

製造業者
PHILIPS / FEI
モデル
DB 830
ID: 9121001
System Pre-lens FIB column Stage, 8" Loadlock FEG SEM.
PHILIPS/FEI DB 830は、高度な材料加工用に設計された汎用性の高いイオンフライス加工装置です。基板表面から材料を除去するさまざまな作業を実行する場合、優れた性能、精度、および信頼性を提供します。FEI DB 830は、アルゴン、キセノン、ネオンなど、さまざまなイオンで動作できるソース・ターゲット・カラムで設計されています。最大8 keVの高イオンエネルギー源と、精密なプロセス制御のための回転式デフレクタを搭載しています。このシステムは真空環境で動作するように設計されており、高電圧電源を使用しています。PHILIPS DB830の主な用途はイオンミリングです。これは、基板の表面から材料を形作り、除去するために使用されるプロセスです。このユニットには、ターゲット、銃、およびビーム光学を保持するフライス盤が含まれています。多種多様なミリング軌道を機械にプログラミングすることができ、平面、曲面、複雑な3D形状をミル化することができます。DB830は、基板表面から材料を選択的に除去するプロセスであるエッチングも可能です。イオンビームを利用して基板表面にパターンを作成することでエッチングを行います。このツールはオートフォーカスモードも備えており、異なる深さでエッチングするときに自動的にイオンビームを再調整することができます。イオンビームから基板を保護するための液体窒素冷却シールドや、処理時間の短縮を可能にするパルスイオンビームエッチングモードなど、さまざまなアクセサリをFEI DB830に使用できます。また、幅広いビームフィルトレーションを備えているため、作成されたパターンの構造を正確に制御できます。PHILIPS/FEI DB830は、総合的で高度な材料加工ソリューションを提供しています。幅広いイオンビーム源、強力なビーム光学系、アクセサリーを備えており、表面から材料を除去する必要があるアプリケーションに最適です。
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