中古 PHILIPS / FEI 237 #293641377 を販売中
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ID: 293641377
Focused Ion Beam (FIB) system
PT Gas Injection System (GIS)
Stage type: 50 mm x 50 mm
I-Gun type: Magnum column
E-Gun type: Sirion FEG Column
Beam current: 3 pA -20nA
Vacuum pump:
Turbo molecular pump
(2) Mechanical pumps
(2) Ion getter pumps
Operating system: MS Windows NT 2000.
PHILIPS/FEI 237は、材料の微細構造の詳細なビューを提供するイオンミリング装置です。このシステムは、フライス加工工程のエネルギッシュなイオンビームを使用して、所望の解像度とフィーチャー幅の領域を正確かつ正確に除去します。イオンビームは、アプリケーションに最も適した電力、フラックス密度、および種で調整可能なイオン源で生成されます。イオンビームは、その形状が調整されたイオンビーム光学系に入り、それに応じて空間分布とエネルギー分布が一致します。この調整後、イオンビームはフライス加工が行われるサンプルに向けられます。FEI 237は、優れたイオンビーム制御および分析機能を提供し、粉砕フィーチャーの優れた表面および形状品質を保証します。切削の深さ、時間、ビーム径、パルス持続時間など、最適化された均一な加工プロセスのためのさまざまなパラメータを含む自動ミーリングプロセスを備えています。この自動化されたプロセスは、イオンエネルギーを制御するのにも役立ちます。PHILIPS 237には、フライス加工プロセスの再現性と精度を高めるコンピュータ制御チャンバーが装備されています。このチャンバーはガスラインマシンを備えており、ユーザーは特定のエッチングプロセスを達成するためにイオンビームパスに目的のガスを導入することができます。さらに、このツールは、エッチングの均一性を評価する電子後方散乱回折検出器を備えたin-situ解析アセットを提供します。二次電子検出器を組み込むことで、表面地形やエッチング面の向きを迅速に撮影することができます。237は、マイクロマシニング、ナノ材料、半導体デバイス、生体アプリケーションなどのアプリケーションに最適なソリューションです。自動化されたフライス加工プロセスと組み合わせた高度な制御および分析機能により、このモデルはあらゆる研究環境に貴重な付加価値をもたらします。
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