中古 PHILIPS / FEI 200XP #293810351 を販売中

PHILIPS/FEI 200XPイオンミリング装置は、高精度の表面処理を必要とするアプリケーション向けの汎用性の高いハイスループットソリューションです。このデバイスはデュアルビームミルで、イオンミリングとフォーカスイオンビーム（FIB）の両方の動作を実行できます。回路編集、イオンビームリソグラフィ、イオンビーム誘導堆積などのFIBアプリケーション用に設計されています。FEI 200XPは超高真空チャンバーから構成されています。これにより、システムは動作全体を通して一貫して低圧に到達し、維持することができます。プロセス全体にわたって温度制御を維持し、精度と正確な表面処理を保証します。真空構成のさらなる利点は、ビームの均一性を向上させ、結果の品質を向上させることです。PHILIPS 200 XPは、統合された自動スパッターガスデリバリーユニットを備えています。ガスタイプとコンディションを素早く切り替えることができ、特定の工程ごとに工具を最適化することができます。この柔軟性により、デバイスの全体的な汎用性が向上します。このデバイスには、アルゴンとキセノンイオンを供給できるリアマウントイオン源が装備されています。200XPは、高精度の3軸サンプルステージも備えています。一度に最大8種類の試料を保持することができ、必要に応じて比較実験を行うことができます。ステージには動きの範囲があり、イオンビームに最適な角度と位置を提供するために、特定のウィンドウ内の任意の方向に移動することができます。FEI 200 XPはまた、精密表面処理のための急速なミル領域に能力を持っています。金属、ポリマー、薄膜、フォトレジストなど様々な材料を加工することができます。これは、デバイスの新しいデュアルビームミリングアセットを使用して行われ、イオンビームとFIBの両方を同時に発射して、任意の材料を効率的かつ正確に粉砕します。200 XPは強力なイオンミリングモデルで、さまざまなアプリケーションに高精度の表面準備を提供するように設計されています。自動ガス搬送装置、高精度サンプルステージ、さまざまな材料タイプを迅速かつ正確に加工できるデュアルビームミリングシステムなど、さまざまな革新的な機能を備えています。