中古 OXFORD Ionfab 300 Plus #293795216 を販売中

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イオンミリング
製造業者
OXFORD
モデル
Ionfab 300 Plus
ID: 293795216
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2010
Ion Beam Etching (IBE) system, 8" Cell type: CdTe ZnS SiO2 Gas line / Size: Ar line 1 / 50 sccm Ar line 2 / 20 sccm O2 line 3 / 20 sccm Xe line 4 / 50 sccm Xe line 5 / 50 sccm Xe line 6 / 20 sccm 2010 vintage.
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OXFORD Ionfab 300 Plusは、デバイス製造および材料研究アプリケーション向けに設計された高度なイオンフライス盤です。この装置は、真空中の標本を正確に操作するための専用の多段多軸操作システムを備えています。Ionfab 300 Plusは、試料に最適なイオンエッチングを提供するために協調して動作する多くのコンポーネントで構成されています。装置のイオン源は、基板に集中した高エネルギーでイオン粒子を加速し、高い精度と精度を実現します。OXFORD Ionfab 300 Plusのサンプルテーブルには、完全にプログラム可能なXYZステージが組み込まれており、ミクロンレベルのスキャン解像度を提供し、標本を正確に画像化、整列、操作できます。これはフル装備の真空チャンバーと組み合わされ、効率的なイオンエッチングのために一貫して高いレベルの真空を提供します。さらに、自動化された操作コントローラや追加のセンサーなど、さまざまなハードウェアコンポーネントにより、ユーザーはエッチング処理を正確に制御できます。このユニットは可変電力RF電源を使用しており、広範囲のエッチング条件を確実に達成できるように、さまざまな電力と動作周波数を提供します。さらに、Ionfab 300 Plusは、2つの異なるモードを提供しています。OXFORD Ionfab 300 Plusは、金属、シリコン、その他の半導体材料を含む多くの異なる材料との互換性を提供し、デバイス製造および材料研究アプリケーションに最適です。さらに、高速エッチングを可能にするオプションのラピッドエッチモジュールを提供しています。全体的に、イオンファブ300プラスは、優れた精度、精度、および材料エッチングのための幅広い互換性を提供する高度なイオンフライス盤です。OXFORD Ionfab 300 Plusは、汎用性の高いマニピュレータ、精密エッチング機能、強力なイオン源を備え、デバイス製造や材料研究において貴重なツールです。
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