中古 OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300LC #293718221 を販売中
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OXFORD INSTRUMENTS IONFAB 300LCは、半導体製造、材料科学、その他の関連産業における薄膜成膜およびエッチングプロセスの高度な機能を提供するために設計された最先端のイオンフライス加工装置です。イオンミリングは、ナノメートルスケールで材料を精密にエッチングし、パターン化するために使用される汎用性の高い技術です。イオンファブ300LCシステムの中心には強力なイオン源があり、エネルギーと方向性を制御してイオンを生成し、正確な物質除去を実現します。このユニットは、アルゴンなどの高貴なガスや酸素や窒素などの反応性イオンを含む幅広いイオン種の選択を提供し、処理される特定の材料に合わせてイオンビーム組成物を調整することができます。OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300LCには、イオンビーム位置とサンプル表面のスキャンパターンを高精度に制御できる高度なビームステアリングマシンが装備されています。この機能は、均一で選択的な材料除去を実現するために不可欠であり、高いアスペクト比で複雑なパターンや構造を製造するために重要です。Ionfab 300LCの主な特徴の1つは、イオンミリングプロセス中に基板の正確な位置決めと回転を可能にする汎用性の高いサンプルステージです。これにより、大面積の基板全体で均一なエッチングプロファイルを実現し、複雑なエッチングジオメトリやマルチステップ処理シーケンスを高い再現性と精度で実行できます。このツールには、プロセスの安定性と再現性を最適化するための高度なプロセス監視および制御機能も装備されています。光放射分光法（OES）やイオンビーム電流測定などのリアルタイムフィードバックメカニズムは、プロセスダイナミクスに関する貴重な洞察を提供し、所望のエッチング速度と選択性を達成するための現場プロセスの最適化を可能にします。さらに、OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300LCは、運用およびデータ管理プロセスを合理化するためのさまざまな自動化およびソフトウェア統合オプションを提供しています。これには、簡単なプロセス設定とパラメータ最適化のためのレシピベースのプログラミング、ならびに資産の柔軟性と生産性を向上させるためのリモート監視および制御機能が含まれます。安全性と人間工学の観点から、Ionfab 300LCは、イオン化放射や高真空環境への暴露からオペレータを保護するためのインターロックやシールド機構などのユーザーフレンドリーな機能を備えて設計されています。このモデルはまた、実験室およびクリーンルーム環境での安全な操作のための業界標準および規制に準拠しています。OXFORD INSTRUMENTS IONFAB 300LCイオンフライス盤は、精密材料加工アプリケーション向けの最先端のソリューションであり、幅広い研究および産業アプリケーションにおいて高度な機能、高性能、ユーザーフレンドリーな操作を提供します。その汎用性、信頼性、効率性は、ナノスケールの精度と制御で様々な材料の正確なエッチングとパターニングを達成するための理想的なツールになります。
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