中古 OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300 Plus #293768259 を販売中

OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300 Plusは、精密な表面ナノ構造のために設計された高度なイオンフライス加工装置です。このシステムは、シリコン、ガラス、ダイヤモンド、サファイア、およびその他の広いバンドギャップ材料を含む基板のオプションの配列に対応するために構築されています。完全に自動化されたツールスタック、歩留まりの均一性を向上させる最適化されたリソグラフィ、および正確なプロセス制御のために調節可能な深さと調整可能な角度を備えた広範なチャンバーエリアを備えています。このユニットは、エッチング、薄膜の堆積、マイクロパターンの作成など、幅広いフライス加工アプリケーションにも対応しています。Ionfab 300 Plusは、イオンビームを完全に制御するために、領域密度とエネルギー分布の正確なプラズマ測定を利用しています。5〜200 eVの範囲で低エネルギーイオンビームを生成することができるイオン源と最大10 mAの電流を持っています。この機械にまたイオン光学カラムが付いている調節可能なイオン光学パッケージがあります最適の製粉の性能を達成するために均一で、安定したイオンビームを維持するのを助けます。また、高精度なパターン作成のための精密な調整が可能な高度な自動化されたステージと、正確な加工のための熱近度調整を備えています。さらに、OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300 Plusは、精密な薄膜沈着とイオン注入を可能にするインプラント前注入ステージを備えています。1nmまでの分解能を実現できる高解像度のイメージングアセットを内蔵しており、線量サイズを調整して複数の基板レベルで均一な結果を得ることができます。このモデルは、真空互換性のあるプロセスを確保し、フライス加工時間を延長するために、真空プロトコルとも互換性があります。OxfordsIonfab 300 Plusは、高度な微細構造およびナノ構造の表面構造の研究開発に携わる人々にとって理想的な選択肢です。ユーザーフレンドリーなソフトウェアで設計されており、正確さや性能を損なうことなく、非常に簡単にセットアップおよび使用できます。装置はあらゆる実験室に貴重な付加物であり、高度なプロセスが可能であり、制御、精度、および歩留まりの均一性を高めることができます。