中古 MICROBEAM Nanofab 150 #9172653 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 9172653
ウェーハサイズ: 8"
Direct write ion beam lithography system, 8"
GDSII
Integrated laser position stage
Minimal beam spot size: 20nm
Energy: 4 -150 keV (300 keV double ionization)
ExB Mass filter
M/deltaM ≥ 50
Liquid metal ion sources: Ga, Si, Ge, In, Be, Au, As, B, Pd, Bi
Beam current density: Up to 5A/cm2
Computer controlled
Stepper motor driven substrate state: 165mm x 165mm travel
1 nm Resolution laser position monitor
Upgrade options available:
Advanced sub 10nm ion optics
Stainless steel system with 10 Pallet load-lock (6" wafer only)
8" wafer handling (2 pallet load-lock only)
General System Upgrade (GSU): Includes vacuum, computer, data handling software, interferometer
Ion sources: 5A/cm Ga, Si, Ge, In, Be, Au, As, B, Pd, Bi sources
Ion guns
Advanced Performance Gun (APG) and source.
MICROBEAM Nanofab 150は、非常に小さく敏感な表面を特別な精度で処理するように設計された高度なイオンフライス加工装置です。このシステムは、コラムを介して送られる焦点イオンビームを使用して、材料の原子レベルのフライス加工とエッチングをサブミクロンのレベルまで提供します。このプロセスは完全に自動化されているため、操作プロセス中にユーザーの介入を最小限に抑える必要があります。ユニットは、イオンガン、ガスボックス、プロセスチャンバーの3つの主要な要素で構成されています。イオン銃はイオン源、加速度グリッド、コリメーターレンズで構成されています。イオン源は、作業中の材料と互換性があり、加速グリッドとコリメーターレンズが結合してイオンのコリメートビームを生成する必要があります。このビームは次に焦点を合わせ、正確に作業エリアに向けることができます。ガスボックスは、プロセスチャンバー内の制御環境を生成するために使用されます。それはガス源を収容し、材料が置かれる平面を提供します。最後に、プロセスチャンバーは、ビームがガスボックス平面上の材料と相互作用するため、フライス加工とエッチング処理が行われる場所です。機械は精密に制御されたイオンのビームを作り出します。結果は、非常に複雑なパターンや構造を作成するために使用することができ、サブミクロン順序の精密なエッチングです。さらに、この操作は自動化され、適切なプログラミングにより、非常に精度と速度の高い複雑なパターンを生成することができます。不活性ガスの使用はまた材料がプロセス自体によって損なわれないことを保障します。ナノファブ150は、サブミクロンレベルの繊細な材料の正確なフライス加工とエッチングのために設計された非常に高度な装置です。それはエッチングおよび微細加工の適用のための高精度そして制御を提供します。このツールは完全に自動化されており、適切なプログラミングにより時間を節約し、生産品質とスループットを向上させることができます。
まだレビューはありません