中古 LAM STRATA-3 #293616560 を販売中

LAM STRATA-3は、様々な材料のエッチングおよびスパッタプロセス用に設計された最先端のイオンフライス加工装置です。このシステムは、強力なイオン源とさまざまなフライス電極を組み合わせて、半導体、MEMS、 OLEDなどの製品を作成する際に使用されるエッチングおよびスパッタリングプロセスを正確に制御することができます。同様の製品に比べて、チャンバの大型化、高精度な位置決めと再現性、高出力イオン源、および最適なミリング混合物を提供する能力などの利点があります。STRATA-3によって利用されるイオン源は、低圧または高圧下で様々なガスのためのエネルギッシュなイオン電流を生成することができる印象的な200W誘導結合プラズマ機械です。これにより、イオンミリング、プラズマアシストイオンミリング、イオンビームスパッタリング、リアクティブスパッタリングなど、さまざまなプロセスオプションが提供されます。LAM STRATA-3は、調整可能なフライス盤を使用して、最大4つのガスの最適なフライス混合物を供給します。チャンバーの適応性は、エッチング効率と精度を最大限に高めるのに役立ちますが、高精度の位置決めツールにより、複数の電極と回転基板の正確なアライメントが可能になります。このアセットはまた、2つの処理ヘッドのオプション、デュアルイメージングヘッドとシングルイメージングヘッドを提供し、幅広いスパッタリング技術を可能にします。デュアルイメージングヘッドはシングルイメージングまたはデュアルイメージングに使用でき、シングルイメージングヘッドは1つの基板に複数の層の堆積に使用されます。両ヘッドは、基板に精密なフィルムを正確に適用できるため、精密な制御が可能です。STRATA-3のさまざまな機能とアクセサリーは、ナノテクノロジーのアプリケーションにも人気のある選択肢です。これらの機能には、荷電粒子への偶発的な暴露やイオンミリングに関連するその他の危険から保護する高度な安全システムが含まれます。さらに、このモデルは複数の物理蒸着システムと多種多様なハードウェアおよびソフトウェアオプションと互換性があります。最後に、LAM STRATA-3は使いやすいインターフェースで設計されており、オペレータは機器のパラメータを簡単にプログラムして設定することができます。このインターフェースにより、エッチングおよびスパッタリングプロセスが簡素化され、システムがイオンミリングおよびスパッタ処理のための最も効率的なツールの1つになります。