中古 LAM STRATA-3 #293609722 を販売中

LAM STRATA-3（低エネルギーイオンミリング）は、様々な材料加工用途向けに設計された最新のイオンミリング装置です。クリーニング、パターニング、平面化など、低エネルギーイオンエッチングが必要な用途に最適です。このシステムは、スキャンヘッド、真空チャンバー、ウェハステージ、HVソースで構成されています。スキャンヘッドは、サンプル領域全体に広範囲の粒子ビームスキャン制御を提供します。真空チャンバーは、作業領域で制御された真空を維持するのに役立ち、スキャンヘッドに接続されています。ウェハステージは、サンプルを真空チャンバーに配置するのに役立ちます。最後に、HVソースを使用してビーム電流を有効にします。ユニットは、3つのイオンミリングガンによって駆動されます。微粒子に対する耐性が高く、基層を損傷することなくサンプル材料の最上層を除去するために使用されます。このマシンは、さまざまな用途に対応する低エネルギーと高エネルギーガンの両方を備えています。また、新たに開発したハイドロキネティックチャンバーを搭載し、強い流体力学的流れを生み出し、イオンビームのイオン背景を低減します。LAM-STRATA-3はユニークなウエハハンドリングアセットを備えており、イオンガンが稼働している間もウエハーが所定の位置に留まることを保証します。ウェハ供給、チャック、冷却システムはすべてイオンミリングモデルに統合されています。チャックはイオンミリング中にウェーハを保持し、供給装置はウェーハがイオンガンに正確かつ正確に提示されることを保証します。冷却システムは、ウェーハの温度を制御することにより、熱吸収を低減し、エッチング結果を向上させるのに役立ちます。単位はアルミニウムおよびチタンのような異なった材料と、互換性があります。連続したエッチング処理を行うことができ、最大50ミクロンの深さのサンプルをエッチングすることができます。LAM-LAM STRATA-3用に開発されたソフトウェアは、無制限の数のウェーハの処理を可能にします。さらに、マシンはチャンバーの詰め替えとパージを備えており、クリーンで超クリーンな環境を作り出します。LAM-STRATA-3は、さまざまな材料加工アプリケーションに理想的なツールです。それは手頃な価格で強力で信頼性の高いソリューションを提供します。このアセットは、ハイイオンビーム電流やハイドロキネティックチャンバーなどの高度な機能を備えており、ユーザーに可能な限り最高の結果を提供します。