中古 ION TECH / VEECO Sourcerer #9276714 を販売中

ION TECH/VEECO Sourcererは、半導体材料の調製に使用される先進的なイオンフライス加工装置です。ウェーハ表面からターゲット材料層を精密に除去する高精度ツールです。従来の化学的または物理的なエッチング法ではなく、イオンを使用する高度なエッチング技術である高度なイオンビーム技術を利用しています。VEECO Sourcererのイオンソースは、電気ワイパーによって充電され、ウェーハに放出されます。これにより、イオンのビームが作成され、サンプルの表面に導かれて材料表面にフライス加工が行われます。高出力イオンビームは、デジタルガイドによって正確にウェーハの表面に向けられます。システムの有効性は抜群です。サブミクロン（ナノメートル）フライス解像度で高い精度に達することができ、20ナノメートルの小さな傷や突起などの欠陥を正確に除去するためにミルダウンすることができます。ION TECH Sourcererの制御された雰囲気により、均一性、高さ、平坦性、深さのための非常にタイトなウェーハパラメータを作成できます。パラメータは必要な要求に応じて最適化でき、制御された雰囲気で均一なエッチングパターンを維持できます。さらに、環境は完全に自動化されているため、ウェーハの手動処理は不要になりました。安全生産の面では、すべての生成された粒子が逃げることができないように真空ユニットによって実験プロセス全体がシールドされます。言い換えれば、これはオペレータと機器の両方に安全な環境を提供します。さらに、デジタル誘導イオンソースにより、オペレータは最も正確な結果を得るためにパラメータを微調整することができます。結論として、Sourcererは材料調製に使用される高度なイオンフライス盤です。そのイオンビーム技術は、ウェーハ表面から材料層を除去するための非常に正確かつ正確な方法を提供します。さらに、制御された環境を備えており、オペレータは均一なエッチングと安全な生産のためのパラメータを最適化することができます。この優れたツールは本当に材料準備作業の利便性と精度の多くを提供します。