中古 ION TECH / VEECO Sourcerer #9156278 を販売中

ION TECH/VEECO Sourcererは、半導体、金属、合金のナノ加工に使用されるイオンミリングシステムです。この最先端のツールは、さまざまな材料やデバイスに精密で高品質のエッチングを提供します。VEECO Sourcererの主な特徴は、焦点を当てたイオンビーム（FIB）を使用して、微細なナノスケール構造と特徴を正確に作成することです。このシステムは、イオン源を収容する真空チャンバー、走査型電子顕微鏡（SEM）、試料ステージから構成されています。試料ステージにサンプルを配置し、3次元的に操作することができ、FIBが望む正確な角度からサンプルを打つことができます。イオンビームは、非常に正確な場所と深さでサンプルをエッチングすることができます。ジョブはSEMでリアルタイムに監視され、必要に応じて結果を調整できます。ION TECH SOURCERERのFIB源は高エネルギーで動作し、キセノン、アルゴン、酸素などの異なる物質のイオン/原子を供給することができます。イオンは通常、グリッドと静電レンズを介して加速され、最大40キロボルトの電圧でサンプルを打ちます。Sourcererはまた、100nAまでの可変FIBビーム電流を提供し、エッチング領域に応じて調整することができます。エッチング工程では、真空圧力とターゲット基板温度も操作できます。これにより、エッチング特性をより大きく制御できます。エッチングの度合い、エッチングの深さ、浸食率を正確に制御できます。さらに、システムはさまざまなタイプの検出器、ビームラスター、電子沈殿物イオンでカスタマイズすることができます。これにより、サンプル全体に均一なエッチングが可能になり、微細な機能分解能を実現します。最後に、ION TECH/VEECO Sourcererはユーザーフレンドリーなインターフェイスで構築され、操作が簡単になり、品質と効率が向上します。VEECO Sourcererは、ナノスケール半導体製造、金属エッチング、ナノ加工に最適なツールとして、機能と技術の包括的なポートフォリオを提供しています。この汎用性の高いユニットは、極めて精度と速度の高い複雑で高品質の機能と部品を作成することができ、半導体業界で信頼性と効果的なツールとなります。