中古 ION TECH MPS-3000 FC #9157317 を販売中

ION TECH MPS-3000 FCは、ガスクラスタソースイオンミリング技術を活用し、精密で高品質な微細構造の表面仕上げを実現する専用イオンエッチングソリューションです。このイオンフライス加工装置は、高度に調整可能なスキャンモーションを備えており、さまざまな材料で制御された幅広いエッチング用途を可能にします。コンパクトで堅牢な設計により、ベンチトップと産業用の両方に使用できます。ION TECH MPS 3000 FCイオンミリングシステムは、真空チャンバー、イオンソース、調整可能なスキャンモーションユニット、加熱バックプレート、およびPC制御制御装置で構成されています。このツールには300ワットのマイクロ波イオン源が供給され、フッ素系反応ガスが供給されます。このガスは高周波電圧でイオン化され、電場によって加速され、加工する材料の表面に集中するイオンのクラスタが生成されます。エッチングサイクルでは、FC MPS-3000調整可能なスキャンモーションアセットを使用してイオンビームの位置を制御し、表面全体に均一なエッチプロファイルを提供します。調節可能なスキャンレート機能により、浅いものから深いものまで、幅広いエッチング深さが可能です。さらに、加熱されたバックプレートは、基板表面の損傷を最小限に抑え、均一性を高めるのに役立ちます。MPS 3000 FCは、エッチングプロセスの正確な設定と監視のためのデジタル制御モデルも備えています。制御装置は、複数のエッチングサイクルのリモートプログラミングと実行を可能にし、各サイクルの間に熱プロセスパラメータを自動的に調整するように構成することができます。ION TECH MPS-3000 FCは、さまざまな産業用途において高精度で高品質な微細構造の表面を製造するために設計された、信頼性の高い汎用性の高いイオンミリングシステムです。精密なエッチングプロファイルを提供できるだけでなく、豊富な設定性と柔軟性を備えているため、最適な選択肢です。