中古 GATAN 691 #9253807 を販売中

GATAN 691は、半導体デバイスなどのナノスケール試料の製造および検査に使用される物理エッチングの一種である「イオンミリング」装置です。このシステムは、イオン源、電源、真空チャンバー、各種ビームコンセントレータ、およびデジタルオートメーションソフトウェアで構成されています。このユニットは0。1ナノメートルの精度まで精密性能を発揮します。これは150ナノメートルの深さまでエッチングすることができ、利用可能な最も正確で信頼性の高いイオンミリングシステムの1つです。691は長期信頼できる操作を保障するように設計されている耐久のステンレス鋼および他の錆抵抗力がある材料から組み立てられます。機械の基本的な構成要素は、セシウムとクリプトンの2つのイオン源です。セシウムは、その大きな電流とエネルギー密度により、より速いエッチングをもたらす主要な供給源です。このツールの低粒子ニュートラライザーにより、エッチングレートのパフォーマンスも向上します。クリプトン源は、より高いエネルギーミリングおよびイメージング用途に使用されます。両方のソースは、精巧な冷却資産と様々なビームコンセントレータを備えた真空チャンバーに収容されています。設計は信頼できる操作および最高の性能を保障します。GATAN 691は、400ワットのDC電源を搭載し、デジタルオートメーションとソフトウェアを介して制御されます。自動化されたコントロールパネルが搭載されており、モデルのパフォーマンスをプログラムおよび監視し、マルチマスクされたウェーハやサンプルを分析することができます。イメージングと分析ルーチンの広い配列もシステムによって実行することができます。X線分光法、X線ビーム表面マッピング、機械解析、光学ミニ集積反射分光などがあります。この幅広い分析ツールにより、ナノスケールデバイスの製造における品質保証に最適です。最後に、イオンミリングに関連する潜在的な危険に対する保護を提供するために、安全機能が組み込まれています。これには、緊急時に自動的に電源を遮断するオートストップ安全ユニットが含まれます。その他の機内安全システムは、機械の真空圧力を測定および維持し、誤った誤ったイオンビームを防止します。要約すると、691は最も信頼性が高く精密なイオンミリングシステムの1つです。ナノスケールのサンプルを非常に高い精度でエッチングすることができ、ナノスケール装置の製造における品質保証を確保するために、幅広い分析およびイメージングルーチンを提供しています。その多数の安全機能はまた、ユーザーとツール自体の両方に最高レベルの保護を保証します。