中古 GATAN 691 #293826925 を販売中

GATAN 691は電子顕微鏡の試料表面を薄い層で除去するためのイオンミリング装置です。システムは、サンプル表面にイオンのビームを供給するためにクローズドループ、3段階の電気/機械イオン焦点ユニットを使用し、スパッタされた材料は、ダブルチューブ「バリ除去装置」で収集されます。これにより、フライス加工の深さを制御するイオンビームエネルギーパラメータと、スパッタリング速度に影響を与えるビームの角度広がりを正確に制御できます。サンプルプラットフォームは、300mmの直径の真空密封プラットフォームで構成されており、共有フィードスルーを使用してイオンミリングソースとサンプルに電力を供給し、信号を送信します。加速されたイオンの電源は広いダイナミックレンジで調整可能で、動作中はサンプルは固定バイアス電圧で保持されます。さらに、サンプルプラットフォームは、プラットフォームの表面に取り付けられた空気駆動アクチュエータを使用して、x、 y、およびz軸のサンプル傾斜を可能にします。ビームのソースは、グラフ化カソードと高性能スパッタリングを可能にする変更された抽出器を備えた高出力イオン銃です。この銃はファラデーシールドを形成する一連の金属板に接続されており、イオンビームを加速しながらビームの電子汚染を防ぎます。また、希土類磁石は試料表面付近で最大2テスラの消磁場を提供することができます。また、光学映像表示ツールを搭載し、サンプル表面の全面画像を提供し、オペレータがリアルタイムでフライス加工の進行状況を観察することができます。最後に、フライス加工プロセスを正確に制御するために、アセットには、電源を介してイオンビームパラメータを制御するように設計された一連のソフトウェアが含まれており、ビーム電流、ビームエネルギー、スポットサイズ、およびその他のパラメータを制御できます。この高度な加工プロセス制御により、サンプルの精密なフライス加工が可能になり、精度と再現性の高い結果が保証されます。