中古 GATAN 691 #293753793 を販売中

GATAN 691は、主に電子顕微鏡用サンプルの研磨・製作に使用されるイオンミリング装置です。このシステムには、12kVの加速力を持つ高性能の超高真空（UHV）水平イオン源と、多軸クローズドループ、マルチゾーンイオンビーム制御ユニットが装備されています。イオンガン、ポジショニングマシン、特殊光学系で構成されています。イオン銃は、イオン源、抽出ツール、ビーム焦点アセット、イオンビーム偏向モデルで構成されています。イオン源は、希望するタイプとエネルギーのイオンを生成するために使用され、通常はダイオードです。抽出装置は、イオン源のプラズマからイオンビームを抽出し、その軌道を調整する責任があります。ビーム集中システムは適切なサンプル処理を保障するためにビームの決断、方向および強度を制御するのに使用されています。最後に、ビーム偏向ユニットは、ビームの軌道を調整して、それがターゲットで適切に照準されていることを確認します。位置決め機は、イオンビームに対してサンプルの角度と線形位置を制御する責任があります。X-Yステージ、傾斜ステージ、マルチゾーンチャンバーで構成されています。X-Yステージでは、サンプルをX方向とY方向に移動させ、傾斜ステージではサンプルの方向をZ方向に調整できます。マルチゾーンチャンバーは、チャンバ内の真空を維持しながらサンプルを操作することができます。691ツールには、優れたイメージングを保証する特別な光学アセットも含まれています。光学系は、イオンビームを誘導し、不要なイオンをフィルタリングする責任があります。このモデルは、回転ミラーと反射ミラーの両方を使用して、ビームを所望の方向に角度を付けることができます。光学系は、サンプル処理に干渉する可能性のある光エネルギーや亜原子粒子をフィルタリングするためにも使用できます。GATAN 691は、試料の微細構造の製造プロセス、研磨プロセス、分析に使用できる高度なイオンミリングシステムです。その高いスループットと精度により、サンプル調製およびイメージングアプリケーションに理想的なツールとなります。