中古 GATAN 691 #293752323 を販売中

GATAN 691は、イオンミリングと呼ばれるプロセスを通じて、幅広い材料の精密表面修正を容易にするように設計されたハイテクなイオンミリング装置です。このシステムは、ガリウムイオンミリングの「ドライ」精密エッチング技術を活用して、材料表面や立体（3D）特性を優れた制御を可能にします。691ユニットは、シリコン、アルミニウム、カーボン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、タングステンなどの半導体または絶縁材料の高速フライス加工を可能にするように設計されています。この機械は0。5 keVから10 keVまで及ぶエネルギーと集中されたイオンビームを提供できる超低エネルギーイオン源を備えています。さらに、強力な20Wガリウムイオン源を備えたGATAN 691は、非常に高品質なフライス加工結果を最小限に抑えることができ、特に忠実度の高い材料に最適です。さらに、堅牢な制御ツールにより、加工時の角度や距離を正確に変更でき、カスタム機能や高精度エッチングに役立ちます。691は、その高解像度ステージの動きを含むいくつかの有利な機能を持っています。視野および実時間表面評価のための光学システム；そして後処理の酸化を避けるために真空を維持する統合された負荷ロック。また、人員と機器を安全に保つ絶縁安全システム、超低圧抵抗熱資産、画像処理用に設計されたクローズドズームレンズ構成も含まれています。GATAN 691のユーザーフレンドリーなインターフェースは、プロセスレシピのセットアップ、制御および監視、IQ/OQ検証を備えた柔軟なモデルオートメーションモジュール、および運用効率を向上させるリモートアクセスオプションのための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。また、包括的なリアルタイム診断モジュールも備えており、ユーザーは機器の問題を迅速にトラブルシューティングおよび解決できます。これらの機能に加えて、691には、さまざまなエネルギー濾過イメージングおよび分光技術をサポートするベンチトップイオンビーム分析システムが含まれています。このユニットには、強力なターボポンプサポートと、スループットと処理シミュレーションを向上させるための5ステーションパレットチェンジャーも付属しています。最後に、GATAN 691は、リソグラフィからサンプルおよび試料調製まで、さまざまな用途に適応することができます。全体として、691は、これまでにない速度と制御を備えた生産スケール、表面改質プロセスを可能にするように設計された高度なイオンフライス盤です。低エネルギーイオン技術と制御ステージの動きを組み合わせたGATAN 691は、高精度の特徴と表面を製造するための信頼性と効率的なツールを提供します。