中古 GATAN 691 PIPS #9075091 を販売中

GATAN 691 PIPSは、ナノ加工設備用に設計されたイオンフライス盤です。イオンミリングとは、通常、ナノメートルレベルの分解能を持つフィーチャーを作成するための一連のステップの一部として、イオンビームを使用してサンプル表面から材料を除去するプロセスです。このシステムは、電子顕微鏡、イメージング、分析機器の大手メーカーであるGATAN、 Inc。によって開発され、製造されました。691 PIPSは、高スループット、バッチ処理アプリケーションに適したユーザーフレンドリーなユニットです。多くのサンプルマウント装置を備えたミルステージに適しており、1つの動きで5列のサンプルのステージを配置したり、1つのサンプルを一連のステップで配置したりすることができます。自動化されたコントローラを使用して、最大8つのイオンビームガンを同時に管理し、ビーム電流（イオンミリング電流は0〜15ミリアンプの範囲）とビーム角度の調整を容易に調整できます。さらに、このツールはサンプルローディング、アンロード、サンプルアイデンティティ、および厳格なビームパターン（必要な特定のパラメータとともに）の自動化を可能にします。GATAN 691 PIPSは、イオンフライス加工時の精度と再現性をさらに保証する幅広い現場検査を提供します。現場での目視検査（表面の特徴または欠如）、光学顕微鏡（ミリングプロセスの前後のサンプル表面のレビュー）、二次電子顕微鏡（SEM）およびスキャン電子顕微鏡（SEM）により、ミル加工表面のさらなる分析が可能になります。アセット自体には、堅牢な真空チャンバ、サンプル安定性を強化した最適化されたサンプルステージ、サンプルステージの正確な位置のための調整可能なステッピングモーター、XYZ機械スキャナ、デジタルチャンバーコントローラ、自動コントローラ、自動アライメントモデル、およびさまざまなイオンミリングガンが含まれています。この装置は、サンプル分析用の光学ポート、イオン汚染モニタリングシステム、および窒化物エッチングと表面洗浄を高速化するガス供給ユニットで設計されています。真空警報機、不活性ガス処理システム、UV除染など、さまざまな安全性とプロセス制御機能があります。さらに、691 PIPSには、発生する可能性のある問題のトラブルシューティングに役立つ診断機能が搭載されています。GATAN 691 PIPSは、優れた精度、再現性、使いやすさを提供するナノ加工アプリケーションに最適な選択肢と考えられています。自動化された機能により、製造プロセスが簡素化され、幅広い現場検査が正確さを保証します。