中古 GATAN 600 #9070536 を販売中
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GATAN 600は、微細分析用の正確で高精度な薄膜試料を製造するための最先端のイオンフライス加工装置です。材料科学からマイクロエレクトロニクスまでの用途に最適で、他の調製方法によって引き起こされる可能性のある機械的または化学的損傷を引き起こすことなく、固体材料の薄い層の研究を可能にします。イオンフライス加工では、表面にビーム状のイオンを照射し、望ましい厚さまで材料を徐々に除去します。600は、アルゴンのイオンビーム、高貴なガスを利用して、いくつかのアングストロームの厚さまで、特定の原子層を除去します。このプロセスは高精度であり、滑らかで均一な表面を生成します。システムは、準備室と制御コンソールの2つの主要なコンポーネントで構成されています。コントロールコンソールには、一体型コントロールユニットとイオンビームを制御するためのソフトウェアが含まれています。また、ユーザーはプロセスを監視することができます。準備室は、UHV対応部品を備えた真空タイトステンレス鋼と、イオンビームを閉じ込めるための内部磁石で構成されています。主要なハードウェアコンポーネントに加えて、このマシンにはサンプルをフライス加工するためのさまざまなアクセサリーも含まれています。さまざまなホルダー、マスク、ステージにより、サンプルの正確なアライメントと目標フライス加工が可能です。これらのアクセサリーは、その後の分析のためにサーフェスをエッジして準備するためにも使用されます。GATAN 600には、さまざまな種類のサンプルのフライス加工に適した多くの追加機能があります。たとえば、調整可能なイオンビーム電流があり、エッチングされた層の厚さを制御できます。それはまた大きいサンプルを分けるのに使用することができるダイヤモンドワイヤーソーを装備することができます。600は、金属、半導体、酸化物など、さまざまな材料の精密加工に最適です。全体的に、その機能は、超薄膜の研究および分析アプリケーションに最適です。このツールはコンパクトで信頼性が高く、研究所や研究機関に最適です。
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