中古 FISCHIONE INSTRUMENTS 1020 #9253905 を販売中

FISCHIONE INSTRUMENTS 1020は、低温および可変電力プラズマ処理、物理および化学蒸着用に設計された自動ドライエッチャー/アッシャーで、洗浄用途にも使用できます。強力で高解像度のデジタル処理コントローラと10インチの直感的なユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーに最大限のパフォーマンス互換性と柔軟性を提供します。高圧、高温、高洗浄率のプロセスを実行する能力を持ち、多様な産業および研究用途での使用に適しています。1020は、2。25インチのワイドチャンバーと2。5インチのバックサイドビューエッチングウィンドウを備え、チャンバー容量は最大24個の1インチウエハを備えています。部屋およびエッチング窓はステンレス鋼から成り、調節可能な真空システムは荒くなる場所から成っています。これにより、エッチングプロセスを密接に制御し、精密なエッチング制御と優れたエッチング結果を提供します。FISCHIONE INSTRUMENTS 1020のソース部分は、エッチチャンバーとエッチングウィンドウを補充し、プロセスを継続するためのさまざまなオプションでスタック可能です。1020は信頼性の高いPLC （Programmable Logic Controller）によって駆動され、デジタル通信プロトコルポートとデジタル制御信号を備えており、エッチプロセスを詳細に制御できます。さらに、ユーザーインターフェイスにはいくつかのプロセス制御機能があり、ユーザーは各エッチング実行の所望のパラメータを事前に決定できます。PLCはロジックとモニタリングを提供し、エッチングチャンバー内のすべての機器とプロセスが正しく動作していることを確認します。The1020には、運転中に発生する可能性のある事故のリスクを最小限に抑える2つの安全コンポーネントが追加されています。1つ目は、エッチングチャンバーとエッチングウィンドウへの不正アクセスを防止するために設計されたセーフティインターロックです。2つ目は、緊急または予期しない事故が発生した場合に機械をシャットダウンするように設計されたE-STOP安全スイッチです。FISCHIONE INSTRUMENTS 1020は、研究および製造プロセスに最適なエッチャー/アッシャーです。これは、信頼性の高いPLCおよびデジタル通信プロトコルで効果的に駆動され、バックサイドビューエッチングウィンドウとチャンバー容量により精密なエッチングが可能であり、ユーザーは優れたエッチング結果を得ることができます。強力なデジタルプロセッサ、大容量チャンバー、調整可能な真空システムにより、1020は産業用および研究用グレードのアプリケーション向けに設計されています。